杜江水
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KAIJO超聲波清洗機PHENIX HYPER 75225VS
日本KAIJO玻璃面板超聲波清洗機
日本KAIJO玻璃面板超聲波清洗機
對半導體、液晶等要求
高兆去除納米級超細粒子
是對超精密清洗發(fā)揮威力的高頻清洗機。可用于去除半導體晶片、液晶、HDD等超微粒子。高頻（750kHz，950kHz）的MEGASONIC清洗，主要以加速度進行清洗。因此，幾乎不會發(fā)生空泡。可有效解決因空泡造成的黃色（損傷）和駐波引起的清洗不均勻。
用途：
Si晶片、GaAs等的清洗
液晶玻璃清洗
玻璃口罩的清洗
硬盤清洗
水晶振子的清洗
薄膜磁頭清洗
脆性材料等清洗
其他超精密清洗可設定0.1W功率。實現(xiàn)高功率穩(wěn)定性。無損傷清洗對應的精密輸出控制容易?。▽?00kHz以上）
通過選擇4種特殊振蕩模式，可以進行比以往更高精度的精密清洗。
可設定上升時、下降時的速度。
QUAVA系列與高兆索尼系列兼容，通過更換振蕩器可以提高清洗性能。
與舊高達78101型相比，小型化為81%，重量也輕量化為17kg！
尺寸是可容納在19英寸機架中的規(guī)格化尺寸。
原則上不需要更換振子時的調整（無匹配）。
用力為自由電源方式，不受工廠電源電壓變動等影響。
7857S，8857S，98SL
| 仕様 | ウェーハ6 | ウェーハ8 | ウェーハ12 |
| 振動板仕様 | 振動板仕様 | 振動板仕様 | |
| 型名 | 7857S型 | 8857S型 | 98SL型 |
| 許容入力 | 300Wx4 | 300Wx6 | 300Wx16 |
| 周波數(shù) | 950kHz | 950kHz | 750kHz |
| 振動輻射面(mm) | 136x163 | 165x215 | 275x319 |
| 振動板材質 | SU316L | SU316L | SU316L |
| 振動體 | PZT | PZT | PZT |
| 最高使用溫度 | 70℃ | 70℃ | 70℃ |
| 外形寸法 | 185x215x55 | 255x305x55 | 410x340x65 |
| (WxDxHmm) | |||
| 取付方法 | ボルト固定 | ボルト固定 | ボルト固定 |
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