四甲基氫氧化銨（TMAH）濃度在線檢測儀在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用介紹

四甲基氫氧化銨（TMAH）濃度在線檢測儀，在電子行業(yè)中廣泛用作FT-LCD、IC正膠顯影劑、硅晶蝕刻劑、CMP過程超純清洗劑，同時(shí)也是液晶顯示器中的顯像液。隨著電子工業(yè)日新月異的發(fā)展，PCB技術(shù)也在飛速發(fā)展。作為PCB圖形成像之關(guān)鍵工序——顯影，直接影響著線路品質(zhì)及阻焊的品質(zhì)，顯影的品質(zhì)要求不能有顯影不凈，不能有顯影過度，不能有掉線和綠油脫落等，顯影露銅點(diǎn)50% ~ 60%（一半顯影段）。因此顯影液濃度的控制對(duì)顯影工序起著非常重要的作用。

  例如：根據(jù)工藝要求需要將現(xiàn)存的濃度為20%的TMAH潔凈液稀釋到目標(biāo)濃度2.48%，需要在線儀表提供準(zhǔn)確TMAH濃度測量，已達(dá)到精確配置目標(biāo)濃度顯影液的目的。目前國內(nèi)常用采樣后分析系統(tǒng)測量TMAH的濃度，測量過程大概需要20分鐘時(shí)間，該方式不具備實(shí)時(shí)性，過程管道的濃度變化無法及時(shí)監(jiān)測到，導(dǎo)致調(diào)控滯后。為了提高生產(chǎn)量，顯影液的配對(duì)效率需要提高，縮短配比的時(shí)間，需要在線實(shí)時(shí)對(duì)TMAH的濃度進(jìn)行監(jiān)控，完善工藝控制要求。采用折光原理的TMAH在線濃度儀能夠滿足在線檢測要求，且測量精度高。
  四甲基氫氧化銨（TMAH）在線濃度計(jì)利用折光的原理測得溶液的折光率，折光率與TMAH溶液的濃度有*的對(duì)應(yīng)關(guān)系。通過換算從而得到溶液的實(shí)際濃度。這種測量原理穩(wěn)定性好，精度高，它適用于管道安裝或容器壁處的安裝，以及其它等多種安裝方式。

的優(yōu)點(diǎn)：
 1.在線連續(xù)檢測，不再需要人工頻繁取樣實(shí)驗(yàn)室檢測，節(jié)省大量人力、財(cái)力
 2.消除人工檢測誤差，保證產(chǎn)品*性
 3.連續(xù)測量，迅速反饋，提升產(chǎn)品質(zhì)量
 4.提高自動(dòng)化程度，相關(guān)的濃度數(shù)據(jù)可通過組網(wǎng)的形式與中控室連接
 5.不受溶液氣泡、壓力影響（與密度法相比）

CY-TMAH在線濃度傳感器