概要熱式氣體質量流量控制器超品SQC-100氣體質量流量控制器（Mass Flow Controller，簡稱MFC）利用溫差量熱法原理，可對氣體的質量流量進行精密測量和控制。用這種方法測出的氣體流量可以忽略溫度和壓力影響。 本產品采用中華人民共和國電子行業(yè)標準SJ/T10583-94以及SJ37所規(guī)定的通用技術條件和命名方法。 MFC出廠通常用氮氣（N2）標定。 質量流量的單位規(guī)定為：SCCM (標準毫升/分)，SLM (標準升/分) 標準狀態(tài)規(guī)定為：溫度---273.15 K（0℃），氣壓—-101325 Pa（760mm Hg） F.S.（Full Scale）：滿量程值
產品特點熱式氣體質量流量控制器超品SQC-100本產品具有穩(wěn)定可靠、響應時間短、標定精度和重復精度高等優(yōu)點，安裝方便，無安裝位置和直管段要求，操作簡單，可配合流量顯示儀或其他顯示儀表使用，也可通過模擬/數字信號轉換器（AD/DA轉換器）配合計算機使用。
流量規(guī)格(N2標定)0～5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM 0～1,2,3,5,10,20,30 SLM 注：滿量程流量不限于此處列出的流量規(guī)格，可以在5SCCM～30SLM范圍內任選，例如123SCCM。
輸入輸出信號 0～+5.00V (輸入阻抗大于100kΩ，輸出電流不大于3mA)
應用行業(yè) 化學工業(yè)、石化工業(yè)、LNG工業(yè)、半導體材料和微電子工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、特種材料研究、環(huán)保和真空行業(yè)等。使用本產品的設備主要有：真空鍍膜設備、混氣配氣設備、光纖熔煉設備、晶體制備設備、微電子設備、微反應裝置、氣相色譜儀及其它分析儀器等。
質保與服務 我公司承諾對產品的質保期為叁年。在您收貨后叁年以內，如果按照說明書要求使用，遵守安全注意事項，并且產品沒有被損毀、改裝或翻新，若有任何故障和問題，我公司負責免費維修或更換新品。 在保修期外，我們提供終身維修和維護服務，但適當收取維修和維護的成本費。維修和維護后，維修部分的質保期為壹年。 我公司有專業(yè)的售后工程師可以幫助您解決關于安裝和使用等各方面的問題，并且提供產品的使用培訓。
規(guī)格參數
| 型號 | SQC-100 |
|---|
| 流量量程(N2) | 0~5,10,20,30,50,100,200,500SCCM |
| 0~1,2,3,5,10,15,20,30SLM |
| 精度 | ±1%F.S.(≤15SLM);±2%F.S.(>15SLM) |
| 控制閥動作型式 | 常閉式 |
| 線性 | ±1%F.S.(≤15SLM);±2%F.S.(>15SLM) |
| 重復精度 | ±0.2%F.S. |
| 響應時間 | ≤1sec |
| 輸入輸出信號 | 0~5V |
| 電氣接頭 | DB15 pin(針形) |
| 工作環(huán)境溫度 | 5~45℃ |
| 工作壓差 | 0.05~0.5MPa(MFC);0.03~3.0MPa(MFM) |
| 漏率 | 1*10-8SCCS(He) |
| zui大耐壓 | 3MPa |
| 介質接觸材質 | 316不銹鋼和密封材料 |
| 密封材料 | 氟橡膠,硅橡膠,丁jing橡膠,聚四氟乙烯,金屬密封 |
| 接頭尺寸 | VCR 1/4";Swagelok 1/8";1/4";φ3,φ6mm |
| 電源要求 | +15V,50mA;-15V,200mA |
