儀表網(wǎng)訊    沈陽儀表院匯博光學(xué)公司經(jīng)過技術(shù)攻關(guān)，近期成功研制出精密紫外反光鏡新產(chǎn)品。該產(chǎn)品的設(shè)計制造難度很大，在2013年之前，國內(nèi)處于空白，只能依賴進口。由于國內(nèi)沒有競爭，進口產(chǎn)品的市場價格虛高。
 

　　2013年我院匯博光學(xué)應(yīng)行業(yè)發(fā)展及市場需求，組成了項目組，開展了專項研究。經(jīng)過一年的攻關(guān)，IC光刻應(yīng)用的紫外反光鏡達到了非球面面型精度0.05mm、曝光所需波長反射率大于95%、耐高溫450度等關(guān)鍵技術(shù)指標(biāo)。產(chǎn)品經(jīng)顧客試用，滿足應(yīng)用要求?，F(xiàn)已開始小批制造，以較高的性價比，及時方便的服務(wù)，受到行業(yè)內(nèi)的歡迎。目前光學(xué)平臺貿(mào)易商Edmund也提出了合作的意向，有意在市場推廣應(yīng)用。
 

　　項目不僅在IC光刻應(yīng)用精密紫外反光鏡產(chǎn)品取得了共性技術(shù)進步，在大口徑精密非球面加工和檢測技術(shù)、非球面耐高溫薄膜的鍍制等獲得技術(shù)突破，并將共性技術(shù)推廣應(yīng)用在數(shù)字投影成像、機車照明燈等相關(guān)薄膜器件領(lǐng)域，促進了光學(xué)薄膜行業(yè)及各應(yīng)用領(lǐng)域的行業(yè)技術(shù)進步。