壓力傳感器芯體作為工業(yè)自動化的核心元件，其技術(shù)水平直接關(guān)系到國家制造業(yè)的發(fā)展水平。長期以來，這一領(lǐng)域被歐美日企業(yè)壟斷，我國壓力傳感器市場90%以上依賴進(jìn)口。這種被動局面嚴(yán)重制約了我國工業(yè)自動化、航空航天、新能源汽車等戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。

核心技術(shù)受制于人的困境，在近年來得到了顯著改善。國內(nèi)科研團(tuán)隊經(jīng)過持續(xù)攻關(guān)，在MEMS壓力傳感器芯片設(shè)計、微納加工工藝、溫度補(bǔ)償算法等關(guān)鍵技術(shù)上取得突破。晨穹作為國產(chǎn)壓力傳感器芯體研發(fā)的新起之秀，其測量精度達(dá)到0.01%FS，溫度漂移控制在±0.0015%FS/℃，性能指標(biāo)已達(dá)到水平。晨穹研發(fā)的CPS01石英差壓壓力芯體，基于差動電容原理，以石英基膜為感壓元件，石英基膜兩側(cè)感應(yīng)外界輸入的兩路壓力，當(dāng)外界兩路壓力發(fā)生改變時，感壓膜發(fā)生應(yīng)變，從而使感壓膜與上、下電極構(gòu)成的差動電容發(fā)生改變，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)壓力測量。產(chǎn)品為數(shù)字輸出，外形小巧，適用對功耗有低要求的壓力測量應(yīng)用場景。這些突破不僅打破了技術(shù)壟斷，更標(biāo)志著我國在傳感器領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)了從跟跑到并跑的跨越。

國產(chǎn)高精度壓力傳感器芯體的崛起，正在重塑產(chǎn)業(yè)格局。在工業(yè)自動化領(lǐng)域，國產(chǎn)芯體已成功應(yīng)用于智能制造生產(chǎn)線，實(shí)現(xiàn)了對進(jìn)口產(chǎn)品的替代；在新能源汽車領(lǐng)域，國產(chǎn)壓力傳感器在電池管理系統(tǒng)中的規(guī)?；瘧?yīng)用，有力支撐了我國新能源汽車產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。據(jù)統(tǒng)計，2022年國產(chǎn)壓力傳感器占有率已提升至35%，預(yù)計到2025年將突破50%。

當(dāng)前，正經(jīng)歷新一輪科技革命和產(chǎn)業(yè)變革，傳感器作為物聯(lián)網(wǎng)、人工智能等新興技術(shù)的核心部件，其戰(zhàn)略地位日益凸顯。國產(chǎn)高精度壓力傳感器芯體的突破，不僅實(shí)現(xiàn)了關(guān)鍵技術(shù)的自主可控，更為我國制造業(yè)轉(zhuǎn)型升級提供了重要支撐。展望未來，隨著5G、工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)等新基建的推進(jìn)，國產(chǎn)壓力傳感器芯體將迎來更廣闊的發(fā)展空間，為制造強(qiáng)國建設(shè)注入新的動力。