三美電機在該公司的綜合技術展“
2008年三美電機展(MITSUMI SHOW 2008)”(08年2月21~22日)上,展示了采用
碳納米管FET(CNT-FET)的
生物傳感器。該產(chǎn)品為與北海道大學共同研究開發(fā)。除了與現(xiàn)行的
酶聯(lián)免疫法(ELISA:enzyme-linked immunosorbent assay)相比能以高出3~4位數(shù)的靈敏度
檢測出病毒外,還可用作“當場
檢測”的便攜
檢測工具?!?STRONG>設想用于禽流感和瘋牛?。˙SE)等家畜感染癥的
檢測”(該公司解說員)。目標是3~4年以內(nèi)投產(chǎn)。
該公司展示的CNT-FET是將在硅底板上通過CVD法形成的直徑1nm單層碳納米管作為通道使用。在柵電極上預先附著特定的病毒抗體,病毒抗原接觸柵電極時與抗體結合。通過CNT-FET的閾值電壓變化把此時的柵電位變化檢測出來。病毒抗原與抗體結合時的閾值電壓的變化量高達數(shù)伏,靈敏度非常高。
雖然作為通道使用的、連接源極和漏極的單層碳納米管的根數(shù)控制比較困難,不過此次的生物傳感器的動作原則上與根數(shù)無關?!半m然根數(shù)不同會引起源極和漏極間的電流不同,但病毒抗原與抗體結合時的閾值電壓的變化量不依賴于根數(shù)”(三美電機解說員)。不過,1根和2根等根數(shù)少的情況效果。因為單層碳納米管除了具有半導體的特性外,在某些情況下還會顯示出金屬的特性。而根數(shù)增多的話,表現(xiàn)為金屬特性的單層碳納米管就會增加,從而漏電流增大等,導致晶體管特性產(chǎn)生變化。
此次的CNT-FET是在半導體器件“接近量產(chǎn)的環(huán)境下試制的”(該公司解說員),目前開發(fā)工作已經(jīng)超越實驗階段,進入量產(chǎn)準備階段。今后,將考慮與醫(yī)療、食品領域的企業(yè)合作,探討作為何種性能指標的檢測工具進行投產(chǎn)。
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