TB380e電動工作臺為專門為半導(dǎo)體行業(yè)的大尺寸晶圓檢驗而設(shè)計的工作臺,臺面尺寸大、高度可以滿足不同工作條件的檢測需求,電動的位移控制讓您的工作更便捷、更高效。
特點
TB380e電動工作臺為專門為半導(dǎo)體行業(yè)的大尺寸晶圓檢驗而設(shè)計的工作臺,臺面尺寸大、高度可以滿足不同工作條件的檢測需求,電動的位移控制讓您的工作更便捷、更高效。
主要技術(shù)參數(shù)
·工作臺尺寸:380mmx230mm
·移動范圍: 280mmx200mm
·高度: 75mm
·空載速度:
x軸×Y軸 zui快 220mm/min×170mm/min
zui慢 25mm/min×25mm/min
zui小動作<0.5mm