原子層沉積系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)
襯底尺寸和類型

zui大300mm晶圓/單片
200mm晶圓25片/批次（標準間距）
150mm晶圓50片/批次（標準間距）
100mm晶圓75片/批次（標準間距）
高深寬比（HAR）樣品
原子層沉積系統(tǒng)工藝溫度

50 –500 °C
基片傳送選件

預(yù)真空室安裝磁力操作機械手（Load lock ）
半自動的機械裝載
集群系統(tǒng)的批量裝載（Cassette-to-cassette ）
批量裝載，帶翻轉(zhuǎn)傳送系統(tǒng)（flipping mechanism）
真空批量裝載
氮氣柜裝載
前驅(qū)體

液態(tài)、固態(tài)、氣態(tài)、臭氧源、等離子體
源瓶容量傳感器，并提供清洗和裝源服務(wù)
6根獨立源管線，zui多加載12個前驅(qū)體源
重量

820 kg
尺寸 (W x H x D)

160 cm x 80 cm x 240 cm
選件

集群工具，PICOFLOW? 擴散增強器，集成橢偏儀，QCM，RGA，N2發(fā)生器，尾氣處理
器，定制設(shè)計，手套箱集成（用于惰性氣體下裝載），與工廠軟件連接服務(wù)。
驗收標準

標準設(shè)備驗收標準為 Al2O3 工藝，
其他工藝可具體協(xié)商：其他工藝、應(yīng)用特別驗收標準如：
--不均勻性
--顆粒物含量
--重金屬污染
--電學(xué)性能