高精度程控勻膠機(jī) 型號(hào):QAZ12-SYSC-100C庫(kù)號(hào)：M399592   查看hh一. 產(chǎn)品特點(diǎn)1. 旋轉(zhuǎn)電機(jī)采用為勻膠機(jī)設(shè)計(jì)的高速伺服電機(jī)，具有高精度、高穩(wěn)定性、高性。2. 旋轉(zhuǎn)加速性能，大旋轉(zhuǎn)加速度*可達(dá) 40000rpm/s。3. 真空系統(tǒng)采用雙重唇口式密封，緊密貼合包裹旋轉(zhuǎn)軸，吸片牢固，不掉片。4. 兩項(xiàng)互鎖功能：1) 勻膠腔體具有開(kāi)啟、關(guān)閉的檢測(cè)功能，確保腔體關(guān)閉后才可啟動(dòng)；2) 真空吸片具有真空檢測(cè)功能，若發(fā)生真空泄漏，則立即停止運(yùn)行，確保吸片牢固。5. 機(jī)身外殼采用 SUS304 不銹鋼制作，表面鍍鈦，防腐蝕、不生銹、易清潔。6. 勻膠腔體采用德國(guó)勞士領(lǐng) NPP 材料，經(jīng) CNC 一體加工成型。接儲(chǔ)脫離基片的膠液，避免進(jìn)入 真空管路和設(shè)備內(nèi)部。耐腐蝕、易清潔。7. 勻膠機(jī)涂膜腔體內(nèi)有廢液排出孔。在涂膜過(guò)程中接儲(chǔ)脫離基片的廢液，并從排液孔排出。8. 樣品臺(tái)采用德國(guó)勞士領(lǐng) NPP 材料，經(jīng) CNC 一體加工成型。耐高溫、耐腐蝕、不變形。9. 勻膠過(guò)程全自動(dòng)分段程序控制。整個(gè)勻膠過(guò)程多可分十步進(jìn)行，每步的加速時(shí)間、旋轉(zhuǎn)速度、 勻膠時(shí)間均可控制、連續(xù)可調(diào)?？蓛?chǔ)存 30 組工藝程序，隨時(shí)調(diào)用。10. 7英寸液晶觸摸屏使控制方便；運(yùn)行狀態(tài)及各項(xiàng)參數(shù)實(shí)時(shí)顯示，直觀(guān)了解勻膠進(jìn)程；11. 真空泵的開(kāi)啟與關(guān)閉均為自動(dòng)程序控制，無(wú)需手動(dòng)操作。12. 旋轉(zhuǎn)前增加預(yù)吸片步驟，“預(yù)吸片時(shí)間”多為 99s，確?；喂涛接谛D(zhuǎn)臺(tái)后再進(jìn)行旋轉(zhuǎn)涂 膜。勻膠完成后增加解吸片步驟，“解吸片時(shí)間”多為 99s，確保停止后再切斷真空，釋放 基片，防止涂膜后的基片滑落，對(duì)膜層造成損傷。13. 標(biāo)配無(wú)油真空泵，低噪音。大吸力將基片緊緊吸附于旋轉(zhuǎn)臺(tái)，防止飛片。 二. 參數(shù) 型號(hào) 參數(shù) SYSC-100C可鍍膜基片尺寸 圓形 ?5～100mm；方形 5×5～70×70mm旋轉(zhuǎn)速度 0～10000rpm轉(zhuǎn)速分辨率 1rpm速度精度 ＜0.02%旋涂加速度* 0～40000rpm/s每步加速時(shí)間 0～999.9s每步旋轉(zhuǎn)時(shí)間 0～9999.9s旋轉(zhuǎn)時(shí)間分辨率 0.1s預(yù)吸片時(shí)間 99s解吸片時(shí)間 99s腔體材料 勞士領(lǐng) NPP 材料 樣品臺(tái)材料 勞士領(lǐng) NPP 材料 真空系統(tǒng)密封方式 雙唇口密封裝置 驅(qū)動(dòng)電機(jī)類(lèi)型 工業(yè)級(jí)高速伺服電機(jī) 內(nèi)置程序 50 組內(nèi)置程序 旋轉(zhuǎn)控制方式 分步編程控制 保護(hù) 腔體開(kāi)關(guān)互鎖以及真空壓力檢測(cè)保護(hù) 膠液排出通道 腔體底部膠液排出孔 真空泵開(kāi)關(guān)方式 自動(dòng)程序控制 電機(jī)保護(hù) “WALL”構(gòu)造防膠液浸入電機(jī)