美國MKS真空計  MKS 999系列多探頭全量程真空計

999 quattro系列的™是zui終的傳感器解決方案，結(jié)合熱陰極技術。999系列提供了從10-10乇大氣壓力測量，結(jié)合大氣交換能力，并結(jié)合的關鍵技術成一個完整的表的解決方案。它在一個緊湊的四個傳感器的功能 quattro包括微型熱陰極電離傳感器，基于MEMS的micropirani™傳感器和一個*的壓電傳感器，提供差分和傳感器功能。

美國MKS真空計  MKS 999系列多探頭全量程真空計優(yōu)勢：

•單傳感器提供了一個廣闊的10-10 Torr to測量范圍10-10乇高真空環(huán)境過程

• Accurate atmospheric pressure reading

•精確的大氣壓力讀數(shù)獨立的氣體的類型和氣壓壓力的變化

• Gas independent absolute measurement

•氣體獨立的測量從50乇大氣（1%的讀數(shù)高于50乇）

• 4-in-1 sensor eliminates complex

•四合一傳感器消除了復雜的流形，布線和控制要求

• Both analog and digital operation and

•模擬和數(shù)字兩種操作通信

• Piezo and MicroPirani sensors are

•壓和micropirani傳感器在操作過程中自動校準

• MicroPirani technology allows for hot

•micropirani技術允許熱在較低的陰極燈絲控制改進燈絲生活壓力

• Two yttria-coated iridium filaments,

•兩釔涂層的銥絲，專為延長壽命

• Includes a patented degas function

•包括脫氣功能

• Mountable in any orientation for easy

•安裝在任何方向容易安裝

• Single selectable analog output (0.5 or

•單可選擇模擬輸出（0.5或0.75 ）

• 3 user-configurable set point relays

•3用戶可配置的設置點繼電器

• Microprocessor-based digital technology

•基于微處理器的數(shù)字技術實時數(shù)據(jù)訪問

• RoHS and CE compliant

•CE和ROHS標準

美國MKS真空計  MKS 999系列多探頭全量程真空計應用：

999 系列quattro的是理想的測量從大氣到廣泛的真空范圍UHV, 特高壓，與大氣的交換能力。典型的應用包括半導體，薄膜涂層，分析儀器高能物理學。這些應用程序需要*的穩(wěn)定性和精度從多傳感器的設計效益數(shù)字接口。緊湊的包系統(tǒng)集成商的理想.在這些市場上的設備制造商。客戶需要一個電源和 PDR900顯示可以使用999的pdr900.900系列控制器。

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