瑞士Inficon英??嫡婵沼?/span> BPG B-A型皮拉尼真空計
INFICON B-A型皮拉尼復合真空計, BPG400, 兩個真空計復合在一個小型單元中測量范圍從 5 x 10-10 毫巴至大氣壓 (3.8 x 10-10 乇至大氣壓). 復合技術降低了安裝,設置和集成的復雜性. 選 BPG400 用于可及的和可再現的過程, 在一個經濟的真空計組件中執(zhí)行基本的壓強測量.
瑞士Inficon英福康真空計 BPG B-A型皮拉尼真空計優(yōu)勢:
極寬的測量范圍從 5 x 10-10 毫巴至大氣壓 (3.8 x 10-10 乇至大氣壓)
過程壓強范圍從 10-8 … 10-2 毫巴,的再現性 5%
皮拉尼聯鎖保護 B-A型系統防止燈絲過早燒毀和來自高壓強運行的過度污染
長壽命的涂敷氧化釔的銥燈絲
可選圖形顯示器和現場總線接口
自動高真空皮拉尼調整減少操作人員的干預
RoHS 兼容性
瑞士Inficon英??嫡婵沼?/span> BPG B-A型皮拉尼真空計用途:
在半導體過程和傳送室中的壓強測量
工業(yè)鍍膜
在低至超高真空范圍內的一般真空測量和控制
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