甩膠機(jī) 、勻膜機(jī) 勻膠機(jī) 型號:UN61M/KW-4A 庫號:M123240 查看hh參數(shù)及要求: 基片尺寸:Φ5-Φ100mm 圓片, zui大100×100mm2方片 轉(zhuǎn)速:500-8000RPM轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性:<±1%旋涂均勻性:<3%旋涂工藝階段:2 段 旋涂時(shí)間:Ⅰ速 0~18S,zui大(0~60S);Ⅱ速 0~60S,zui大(0~180S) 整機(jī)尺寸(長寬高):210mm×260mm×275mm裸機(jī)尺寸(長寬高):210mm×260mm×155mm電機(jī)功率:40W適應(yīng)材料:硅片、玻璃、石英、金屬、GaAs、GaN、InP 等各種材料