雙電測四探針測試儀 型號:CN61M/RTS-9庫號:M378117 查看hh指標(biāo) 測量范圍: 電阻率:10-5~105 ?.cm(可擴(kuò)展); 方塊電阻:10-4~106 ?/□(可擴(kuò)展); 電導(dǎo)率:10-5~105 s/cm; 電阻:10-5~105 ?; 可測晶片厚度:≤3mm 可測晶片直徑:140mmX150mm(配 S-2A 型測試臺(tái));200mmX200mm(配 S-2B 型測試臺(tái));400mmX500mm(配 S-2C 型測試臺(tái)); 恒流源:電流量程分為 1µA、10µA、100µA、1mA、10mA、100mA 六檔,各檔電流 連續(xù)可調(diào) 數(shù)字電壓表: 量程及表示形式 000.00~199.99 mV;分辨力:10µV;輸入阻抗>1000M?; 精度:±0.1% ;顯示:四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示;極性、chao量程自動(dòng)顯示; 四探針探頭基本指標(biāo):間距:1±0.01mm;針間絕緣電阻:≥1000M?; 機(jī)械游移率:≤0.3%; 探針:碳化鎢或高速鋼 Ф0.5mm;探針壓力:5~16 牛頓(總力); 模擬電阻測量相對( 按 JJG508-87 進(jìn)行):0.01?、0.1?、1?、10?、100?、1000?、10000?≤0.3%±1 字 整機(jī)測量標(biāo)準(zhǔn)不確定度:≤4% 測試標(biāo)準(zhǔn): 采用雙電測測試標(biāo)準(zhǔn),通過 雙電測測試軟件控丨制四探針測試儀進(jìn)行測量并實(shí)時(shí)采集兩次組合模式下的電壓值,然后根據(jù)雙電測測試原理公式計(jì)算 出電阻值。儀器主機(jī)也可兼容四探針測試軟件實(shí)現(xiàn)單電測測試標(biāo)準(zhǔn),