MSHOT MJ-G600 適用于半導(dǎo)體封裝、FPD面板、焊接貼片、光纖端子臺階測量、MEMS、晶片級CSP、硬盤滑行磁頭等領(lǐng)域。
MSHOT MJ-G600 結(jié)構(gòu)說明：
三目頭：適合使用顯微鏡照相設(shè)備的配置。
LED照明器：高強(qiáng)度白色led照明器。
Z軸電動移動：的控制器使得上下移動更方便、精確。
數(shù)據(jù)處理器：
適用于數(shù)字化光柵測量及視頻測量的多功能數(shù)顯處理系統(tǒng)。
Z軸輔助對焦：FA功能提高z軸測量精度
準(zhǔn)直的透射光：輪廓測量，提高測量精度
MSHOT MJ-G600 特點:
01.清晰無閃爍正像觀測，視場寬闊
02.數(shù)字成像和影像測量技術(shù)
03.更大的載物臺，測量行程提高了對工件的處理能力
04.非接觸式z軸高度測量與數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)的協(xié)同工作
05.低倍率到高倍率平滑轉(zhuǎn)換
06.多種照明選擇
07.光學(xué)十字聯(lián)動
08.人機(jī)工程學(xué)設(shè)計
09.可變孔徑光闌可消除觀測與測量中的光衍射
10.標(biāo)準(zhǔn)測量顯微鏡，可選配件包括影像系統(tǒng)與各種數(shù)字ccd相機(jī)
輔助對焦（FA）測定方法:
輔助對焦（FA）測定原理圖
顯微鏡 MSHOT MJ-G600 有一個精確的焦點以確保顯微鏡的格子線上半?yún)^(qū)和下半?yún)^(qū)的垂直索引線與兩條直線的精準(zhǔn)*性，這樣就不會必須根據(jù)標(biāo)本圖像外觀的清晰與否而對其進(jìn)行矯正的煩 擾了。與其他調(diào)焦系統(tǒng)相比較，由于這是一個*的系統(tǒng)，即不受物鏡焦點深度的影響，也不依賴人們?nèi)庋鄣哪芰韰^(qū)分這兩個點，該系統(tǒng)能非常精準(zhǔn)的判斷出焦點 所在位置。該調(diào)焦系統(tǒng)和數(shù)字測量儀表允許面與面之間短距離高度的非接觸式、高精密測量。
MSHOT MJ-G600 標(biāo)準(zhǔn)配置 | ||||
| 鏡筒 | 雙目鏡筒，帶有標(biāo)準(zhǔn)相機(jī)接口；十字線（交叉虛線）；光路徑轉(zhuǎn)換（觀測/相機(jī)=50/50） | |||
| 圖像 | 正像 | |||
| 觀測方法 | 明場觀測 | |||
| 屈光度可調(diào)目鏡 | 10x（視場數(shù)20mm），20x | |||
| 物鏡 | 標(biāo)配物鏡5x、10x、20x、50x、100x | |||
| 調(diào)焦系統(tǒng) | Z軸電動控制（快、中、慢三種調(diào)節(jié)方式） | |||
| 光源 | 透射（led照明器，準(zhǔn)直光） | |||
| 落射（led照明器，同軸光） | ||||
| 照明裝置 | 可調(diào)孔徑光闌、視場光闌 | |||
| 長度測量系統(tǒng) | 高精度數(shù)顯光柵尺，1um、0.5um、0.1um | |||
| 工作臺 | 測量范圍：300*200mm,250*150mm,200*150mm；200*100mm,100*100mm,50*50mm； 或定制平臺尺寸 | |||
| 快速釋放裝置：x和y軸標(biāo)配 | ||||
| 調(diào)零開關(guān)：x、y、z軸選配 | ||||
| 數(shù)顯計數(shù)器 | zui小讀數(shù)0.1um，RS232C輸出 | |||
| 外部尺寸（寬*深*高） | 380*705*725mm | |||
| 測量精度 | X和y：3+L/200,3-L/200，L為測量長度 | |||
| Z軸 | zui大行程：200mm | |||
| 調(diào)焦方法：電動手輪控制調(diào)節(jié) | ||||
| 線性刻度尺：內(nèi)置 | ||||
