微橋氣流質(zhì)量傳感器是基于氣流流過(guò)傳感元件的熱傳輸工作原理，傳感器輸出電壓正比于流過(guò)內(nèi)部傳感元件的
進(jìn)出口的空氣或其他氣體質(zhì)量。
基于的微結(jié)構(gòu)技術(shù)，傳感器內(nèi)含一塊*的硅芯片-它包含薄膜電路、發(fā)熱及熱敏感元件的熱隔離橋電路，
橋電路對(duì)流過(guò)芯片的氣流快速、靈敏的響應(yīng)。發(fā)熱體兩側(cè)的敏感元件還能指示氣流流過(guò)的方向。激光校整的厚膜電
路及薄膜電阻保證了每個(gè)元器件*的性能。
微橋式氣流質(zhì)量傳感器利用熱敏電阻薄膜-被壓成薄片包含在絕緣材料厚膜電路中，他們被懸掛起來(lái)在硅片刻
蝕空洞上形成橋狀，如右圖顯示，芯片被精確的安放在氣流通道上，流量傳感橋下的硅片刻蝕空洞的空氣間隙提供
發(fā)熱體和熱敏元件之間高效的熱隔離。微橋式氣流質(zhì)量傳感器的小尺寸和熱隔離有助于氣流的快速響應(yīng)及高靈敏度。
特殊設(shè)計(jì)的殼體精確地引導(dǎo)和控制氣流流過(guò)微橋，并能很方便的安裝在印刷線路板上。
雙惠斯頓電橋控制氣流的測(cè)量一個(gè)提供閉環(huán)的發(fā)熱器控制，另一個(gè)包含雙傳感元件，發(fā)熱器控制線路把由于周
圍環(huán)境溫度變化而引起的輸出溫飄減小到zui小程度。此線路保持發(fā)熱器溫度恒定高于周圍環(huán)境溫度160­C，周圍環(huán)
境溫度由芯片上的熱敏電阻測(cè)量得知，惠斯頓電橋的差壓即為隨電源電壓比率變化的傳感器輸出電壓。氣流中的灰塵平行流過(guò)芯片表面，另外熱遷移效應(yīng)能移走微米級(jí)的粒子，清潔了微電路，使用一些運(yùn)用中可能
存在的污染被減少，在我們的加速壽命試驗(yàn)中，在低于50sccm速度氣流的典型的工業(yè)環(huán)境下，氣流質(zhì)量傳感器能達(dá)到20 年的預(yù)測(cè)壽命。
由于灰塵附著在芯片邊緣而引起的堵塞在低速下可以簡(jiǎn)單地使用過(guò)濾網(wǎng)而*解決，使用小格柵和高氣流阻抗的過(guò)濾網(wǎng)可得到*的過(guò)濾效果- 當(dāng)大量灰塵堆積在過(guò)濾網(wǎng)上時(shí)，綜合阻抗不會(huì)顯著變化，可采用一次性使用的5 微米格柵的過(guò)濾網(wǎng)。
特點(diǎn)：
* 的微加工技術(shù)
* 低氣流速度敏感-0.1sccm
* zui高檢測(cè)流量200 升/ 分鐘
* 快速響應(yīng)，低電流損耗，高反應(yīng)重復(fù)性
* 激光刻蝕提供了器件的*性
* 低壓力精確測(cè)量（0.001-4”水柱）
典型運(yùn)用：
* HVAC 的風(fēng)門擋板控制
* 氣體分析儀
* 低真空控制
* 過(guò)程控制
* 科研呼吸儀和肺活量?jī)x
* 氧氣供應(yīng)
* 麻醉控制儀
* 氣體標(biāo)定