產(chǎn)品介紹：
- 反應(yīng)艙：材料：鋁
有效尺寸：直徑230 x 深度250mm
容積：10.4升
艙門(mén)：裝有可視窗口
托盤(pán)：訂制
- 真空度測(cè)量：
皮拉尼真空計(jì)（利用電阻絲隨溫度的變化而電阻隨之變化的原理來(lái)測(cè)量的，而電阻絲溫度的變化又與其周?chē)鷼怏w的熱導(dǎo)率有關(guān)） - 真空泵：
二級(jí)旋片式真空泵；3m3 每小時(shí)。 - 頻射發(fā)生器：
0~600w可調(diào)，2.45GHZ發(fā)生器 - 控制系統(tǒng)：
觸摸屏操作，PLC控制系統(tǒng)
PLC可實(shí)現(xiàn)下列功能：
1、自動(dòng)控制反應(yīng)過(guò)程；
? 2、根據(jù)處理材料設(shè)定不同的處理工藝流程；
? 3、測(cè)定真空泵壓力、抽真空時(shí)間、充氣速度、工作壓力、處理時(shí)間、溫度、頻射發(fā)生器輸入電壓等指標(biāo)；
? 4、監(jiān)測(cè)所有的運(yùn)行指標(biāo)，保證在設(shè)定范圍之內(nèi)；
? 5、 設(shè)定操作、維護(hù)密碼。 - 電源：
220V AC、50Hz、16A. - 反應(yīng)氣體：
一個(gè)氣體輸入端口，含氣體流量控制器（MFC）；根據(jù)用戶(hù)需要，可擴(kuò)展 - 氣體輸入：
直徑1/4英寸（0.645厘米）管道；輸入壓力：1Bar. - 安全性能：
急停開(kāi)關(guān)；真空泵保護(hù)鎖；高溫保護(hù)鎖；CE安全認(rèn)證。
用途：
小型物件的活化、清洗、蝕刻等。
可選件：
- 頻射發(fā)生器：100KHZ, 13.56MHZ ，可訂制
- 可加裝15m3每小時(shí)的真空泵
- 根據(jù)需要，可訂制多個(gè)氣體輸入管道
- 根據(jù)客戶(hù)工藝要求制作的軟件程序
- 根據(jù)客戶(hù)要求制作的托盤(pán)。
- 石英反應(yīng)艙
- N2 Purge.
