質量流量控制器 型號:QX05-CS200A 庫號：M405886

數(shù)字式氣體質量流量計/流量控制器，高精度，多氣體多量程，自動調零，量程5sccm-50slm

橡膠密封，通訊方式：模擬0-5V、模擬0-10V、數(shù)字485、DeviceNet




主要特點：

1.數(shù)字化，橡膠密封

2.高精度，快響應

3.極低零漂及溫漂

4.良好的兼容性


技術參數(shù)：

產品型號
CS200-A型

產品類型
高精度型,快響應型,數(shù)字型,低零漂及溫漂型,抗電磁干擾

流量量程
5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,

1slm,2slm,3slm,5slm,10slm,20slm,30slm,50slm

產品精度
±0.35％F.S.(＜35% F.S.) ±1.0% S.P.(≥35% F.S.)

重復精度
±0.2% FS

線性
±0.5% F.S.

響應時間
≤1sec

工作溫度范圍
(5~45)°C

耐壓
3MPa

密封材料
氟橡膠Viton

輸入輸出信號
(0~5)VDC,(0~20)mA,(4~20)mA,RS-485,DeviceNet,Profibus

電源
±15V,24V,±8 ~ ±16 VDC or +14 ~ +28 VDC

閥類型
常開(流量量程≤30slm)或常閉

溫度系數(shù)

零點: ≤±0.05% F.S/℃；

調節(jié)時: ≤±0.1% F.S/℃ 流量規(guī)格≤30SLM

調節(jié)時: ≤±0.2% F.S/℃ 流量規(guī)格＞30SLM

零點飄移指標
＜0.6%F.S. per year without autozero

電氣連接
Profibus,D sub 15 pins Male,D sub 9 pins Male,DeviceNet Male

工作壓差范圍
(0.05～0.35) MPa （F.S.≤10slm）,(0.1～0.35)MPa（10slm≤F.S.≤30slm）,(0.2～0.45) MPa（30slm＜F.S.）

漏率
1×10-10 Pa?m3 / sec He

標準接頭形式
雙卡套1/4”(滿量程≤30slm),雙卡套1/8”(滿量程≤5slm),雙卡套Φ3 (僅適用于滿量程≤5slm產品),雙卡套Φ6(僅適用于滿量程≤30slm產品),雙卡套Φ10,雙卡套3/8”,VCR1/4”,VCO1/4”

表面化學成分
- 無 -

表面粗糙度
25μinch

抗電磁干擾
CE

重量
1Kg
質量流量控制器 型號:QX05-CS200A 庫號：M405886

質量流量控制器 型號:QX05-CS200A 庫號：M405886