AWM5104氣體質量流量傳感器特點：
● 各種流量接口可選
● 文丘里管設計
● 遠程安裝
●激光校整CO2，N2 氬氣的標定。
AWM5104在線測量：
AWM5104為文丘里流量管形外殼，可以測量zui高至20 升/ 分鐘，zui大壓降2.25”水的氣流。微橋芯片直接與氣流接觸，大大減少了由于通氣孔或旁路堵塞引起的誤差。
AWM3000系列氣體質量流量傳感器技術規(guī)格：10.0±0.01VDC
| | AWM3100V | AWM3150V | AWM3200V | AWM3300V | ||
| 流量范圍（span） | +200sccm | +30sccm | | +1000sccm | ||
| 壓力范圍（psi） | | | | | ||
| （參照附錄） | | | ±2.0”水柱 | | ||
| 輸出電壓 | 5VDC@ | 3.4VDC@ | 5VDC@ | 5VDC | ||
| @ 標定點 | 200sccm | 25sccm | 2”水柱 | 1000sccm | ||
| 零點電壓 | 1.00±0.05VDC | 1.00±0.1VDC | 1.00±0.08mV | 1.00±0.1VDC | ||
| 零點漂移 | | | | | ||
| +25~-25?C | ±25mV | ±100mV | ±25mV | ±25mV | ||
| +25~+85?C | | | | | ||
| 輸出電壓漂移 | | | | | ||
| Max | | | | | ||
| +25~-25?C | -4% 讀數 | ±5.0% 讀數 | +24.0% 讀數 | -5% 讀數 | ||
| +25~+85?C | +4% 讀數 | ±5.0% 讀數 | -24.0% 讀數 | +5% 讀數 | ||
| 重復性& 遲滯Max | ±0.5% 讀數 | ± 1% 讀數 | ±0.5% 讀數 | ±1% 讀數 | ||
| | Min Typ. | Max. | | |||
| 電源（VDC） | 8.0 10±0.01 | 15 （2） | | |||
| 功耗（mW） | 50 | 60 | | |||
| 反應時間（ms） | 1.0 | 3.0 （1） | | |||
| 共模壓力（psi） &, lt;, /TD> | | 25 | | |||
| 工作溫度 | -25~85?C | | | |||
| 儲存溫度（?C） | -40~90?C | | | |||
| 沖擊（5drops,6axis） | 100g峰值（5drops,6axis） | | | |||
注：1、信號處理zui初預熱所須時間zui多1 分鐘
2、輸出電壓隨電源電壓而比率變化
3、差壓器件的溫漂主要是由氣體的濃度隨溫度而變化
氣流器件的溫漂主要是薄膜TCR 的系數的二次根及厚膜電阻的溫飄，加上運放的溫飄
4、為防止損壞，zui大允許流量變化值：5.0SLPM/1.0 秒
2、輸出電壓隨電源電壓而比率變化
3、差壓器件的溫漂主要是由氣體的濃度隨溫度而變化
氣流器件的溫漂主要是薄膜TCR 的系數的二次根及厚膜電阻的溫飄，加上運放的溫飄
4、為防止損壞，zui大允許流量變化值：5.0SLPM/1.0 秒
AWM5000系列氣體質量流量傳感器技術規(guī)格：
| | AWM5101 | AWM5102 | AWM5103 | AWM5104 |
| 流量范圍 | 0-5 SLPM | 0-10 SLPM | 0- 15 SLPM | 0-20 SLPM |
| 后綴-標定氣體 | VA-氬氣（Ar）VC-二氧化碳（CO2）VN-氮氣（N2） | |||
| | Min Typ Max | |||
| *供電電源VDC | 8.0 10±0.01 15 | |||
| 功耗（mW） | 100 | |||
| 反應時間（mA） | 60 | |||
| 零點輸出VDC | 0.95 1.00 1.05 | |||
| 零點漂移，VDC -20~70?C | ±0.050 ±0.200 | |||
| zui大共模壓力psi | 50 | |||
| 溫度范圍 | -20~+70?C | |||
| 沖擊指標 | 100g峰值，6ms 半正弦（3drops,3 的每一方向） | |||
| 輸出@ 較整點 | 5VDC@ 滿量程流量 | |||
| 壓差@ 滿量程 | 參照壓力& 氣流表 | |||
| 滿量程輸出漂移+20?~-25?C +20?~70?C | 后綴VA 或VN ±7.0% 讀數，VC ±10.0% 讀數 | |||
| 線性誤差 | ±3.0% 讀數 | |||
| 遲滯& 重復性 | ±0.5% 讀數 | |||
| 連接器（4pin receptacle） | AMP（103956-3）或MICROSWITCH（SS12143） | |||
| 泄漏 max | 0.1psi/min,在靜態(tài)中 | |||
注：1、AWM5104供電電壓除10.00±0.01VDC 外，不保證標定值。
2、AWM5104線性誤差適用于2- 滿量程，但不適用0 LPM 時零輸出
3、在50psi 內壓下，AWM5104每分鐘泄漏小于0.1psi，如果安裝時，相對于流量管的連接器被扭轉，將會破壞O 形圈和流量管之間的密封，引起暫時匯漏，可高達1psi，也可能在指標內，換上新O 形圈后，密封恢復，大約85% 的泄漏在24 小時內消除，48 小時內，可*恢復。
