主要規(guī)格：
- 具有定位掃描和自動(dòng)化掃描兩種模式；
- 掃描面積尺寸可達(dá)300 mm ×300 mm，定位精度可達(dá)5μm；
- 檢測(cè)線(xiàn)寬或間距可達(dá)0.5 mm，檢測(cè)深度可達(dá)30 mm；
- 適用樣品尺寸、個(gè)數(shù)、次數(shù)等均無(wú)限制
- 使用樣品材料包含金屬樣品
產(chǎn)品特點(diǎn)：
- 自動(dòng)化控制界面；
- 檢測(cè)精度高、操作方法簡(jiǎn)單、不損壞待測(cè)樣品；可對(duì)樣品表面進(jìn)行缺陷掃描；
- 對(duì)導(dǎo)體薄膜及金屬板件等導(dǎo)體待測(cè)樣品進(jìn)行厚度、導(dǎo)電率和導(dǎo)磁率等物理特性進(jìn)行檢測(cè)。
對(duì)具有不同深度（即缺陷）的鋁板樣品凹槽進(jìn)行表面缺陷測(cè)量，如下圖所示。缺陷從左到右依次為：（a）為深度1mm表面凹槽；（b）為深度3mm表面凹槽；（c）為距表面4mm厚度的內(nèi)部凹槽；（d）為距表面1mm厚度的內(nèi)部凹槽；（e）為貫穿通孔槽；各孔槽寬度皆為10mm。鋁的電導(dǎo)率為3.78X107(S.m-1)，磁導(dǎo)率為1.2566X10-6(H.m-1)。
利用LabVIEW程式控制自動(dòng)掃描系統(tǒng)對(duì)試樣表面依照?qǐng)D中設(shè)定的紅色蛇形路徑進(jìn)行掃描，并設(shè)定Z軸每次步進(jìn)距離為1.25mm（可依情況自行設(shè)定具體值），掃描面積為70×118mm，經(jīng)計(jì)算測(cè)量點(diǎn)總數(shù)為56×94共5264個(gè)點(diǎn)。由于考慮趨膚效應(yīng)影響以及更好地獲得樣品表面形貌，分別測(cè)試在200、500、1500及5000 Hz不同頻率下的檢測(cè)情況，先通過(guò)高頻判斷其缺陷位置，再調(diào)至低頻進(jìn)一步獲取缺陷的具體尺寸及深度，并通過(guò)對(duì)高低不同頻率測(cè)量結(jié)果的對(duì)比，得到樣品表面及近表面形貌。
