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1、技術(shù)等級(jí)達(dá)到同類(lèi)高水準(zhǔn)。 2、設(shè)備所選用的機(jī)械、電氣、水路、氣路等元件是成熟、可靠的產(chǎn)品。設(shè)備技術(shù)，設(shè)計(jì)何理，操作簡(jiǎn)單，易于維護(hù)和維修。。 3、本設(shè)備采用視覺(jué)算法，保證定位及糾偏精度達(dá)到1um，可有效滿(mǎn)足晶圓劃片對(duì)高精度的需求。4、機(jī)械結(jié)構(gòu)和工作界面根據(jù)世界流行機(jī)器設(shè)計(jì)。5、進(jìn)口C3級(jí)滾珠絲桿及雷尼紹光柵尺閉環(huán)控制，可達(dá)到水平。6、濟(jì)南大理石機(jī)身，變形。7、標(biāo)配：8英寸......

單軸12英寸全自動(dòng)晶圓劃片機(jī)（砂輪）產(chǎn)品詳情

設(shè)備介紹

晶圓劃片機(jī)作為半導(dǎo)體芯片后道工序的核心設(shè)備之一，用于晶圓的劃片、分割或開(kāi)槽等微細(xì)加工，其切割的質(zhì)量與效率直接影響到芯片的質(zhì)量和生產(chǎn)成本。

被設(shè)備可用于加工邊長(zhǎng)為310 mm的方形工作物（特殊選配）。

該設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)配置了輸出功率為1.8 kW的主軸，還將高扭矩主軸（2.2 kW）作為特殊選配供用戶(hù)選擇。

使用2.2 kW主軸，可裝配?58mm切割刀片，能夠?qū)杌螂y加工材料進(jìn)行切割加工。

設(shè)備參數(shù)

X軸(切割軸)	切割范圍	≥350mm
X軸(切割軸)	工作臺(tái)直線度	0.002mm/305mm
Y(進(jìn)給軸)	切割范圍	≥305mm
	分辨率	0.0001mm
	定位精度	0.001mm/5mm
	定位精度	0.003mm/305mm
	工作臺(tái)直線度	0.002mm/305mm
Z軸	有效行程	35mm
	進(jìn)給最小分辨率	0.0001mm
	重復(fù)精度	0.001mm
	使用刀盤(pán)直徑	59mm(2時(shí)硬刀)
T軸(旋轉(zhuǎn)軸)	額定轉(zhuǎn)矩	20N.M
	轉(zhuǎn)速	120rpm
	分辨率	0.0001°
空氣主軸	轉(zhuǎn)數(shù)范圍	6000-60000rpm
空氣主軸	主軸功率	1.8KW(2.4KW可選)
其他規(guī)格	電源	220V/50HZ
	用電量	0.9KW(切割中）
	用電量	0.3KW(待機(jī)中)
	壓縮空氣	0.5-0.8MPa
	切割耗氣量	220L/min
	切割水	壓力:220L/min
	切割水	耗水量:1.5L/min(在0.3MPa下測(cè)量)
	排風(fēng)量	5.0m3/ min
	設(shè)備尺寸	1070×1150×1800mm
	設(shè)備重量	≤1.2T

關(guān)鍵詞：標(biāo)準(zhǔn)

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