應(yīng)用行業(yè)：
- 半導(dǎo)體、太陽能、液晶面板制造設(shè)備
- 純介質(zhì)和特殊氣體系統(tǒng)壓力測星
應(yīng)用流體：
- l 超高純及有毒等特種電子氣體
特點：
- l 可測真空壓力，量程范圍：0-7MPa
- l 測量精度可達±0.25% FS BSL；
- l 工作溫度范圍：-40~8（FC；
- l 硅壓阻敏感元件，高穩(wěn)定性，高可靠性；
- l 全316L不銹鋼結(jié)構(gòu)
- l 壓力接頭脫脂清洗，產(chǎn)品真空包裝；
- l 快速響應(yīng)時間，上電時間小于30ms;
- l 所有接液部分表面電拋光處理，符合EP Grade5；
- l 所有接液部分表面粗糙度不超過Ra 0.2；
性能指標
量程 0-7MPa表壓之間任意選擇 0-7MPa顚之間任誕擇 *大過壓 4xFS (2OMpa Max) 封堵壓力 6xFS (2OMpa Max) 精度等級 ±0.25%FS BSL （BSL*佳擬合直線） 溫度影響 ±15%FSTHB （TEB:溫度誤差帶） 材質(zhì) 316L不銹鋼 供電電壓 7~32Vdc 輸出形式 4~20mA;V 工作溫度范圍 -40 ~ +80 C 木卜償溫度范圍 -20 ~ +80C 頻率響應(yīng) 3.5KHZ 上電時間 <30ms 絕緣電阻 >100MQ@500VDC 長期穩(wěn)定性 ±0.1%FS 每年 壓力介質(zhì) 與316L不銹鋼兼容的流體 零點允許誤差 ±1.0%FS 滿量程允許誤差 ±1.0%FS
電氣接口性能
編號 描述 *大工作溫度范圍℃ IP等級 零、滿調(diào)整 7 DIN43650.可拆卸 -40~+80 65 是 G M12*l四針 -40~+80 65 否
電氣連接
| 接頭類型 | 選項編號 | 電子產(chǎn)品選項 I | ||
| 4 - 20 mA | 電壓1 | |||
| DIN, MicroDIN | 7,D | 1 | +ve供電 | +ve供電 |
| 2 | -ve供電 | 0V共地 | ||
| 3 | - | +ve輸出 | ||
| E | 外殼 | 外殼 | ||
| M12*l四針 | G | 1 | +ve供電 | +ve供電 |
| 2 | - | +ve輸出 | ||
| 3 | -ve供電 | 0V共地 | ||
| 4 | 外殼 | 外殼 | ||
