*的離子束技術(shù)，實現(xiàn)高空間分辨率
PHI nanoTOF3 能夠提供高質(zhì)量分辨和高空間分辨的TOF-SIMS分析 ：在高質(zhì)量分辨模式下，其空間分辨率優(yōu)于500 nm；在高空間分辨模式下，其空間分辨模式優(yōu)于50 nm。通過結(jié)合高強度離子源、高精度脈沖組件和高分辨率質(zhì)量分析器，可以實現(xiàn)低噪聲、高靈敏度和高質(zhì)量分辨率的測量。
高空間分辨模式下脈沖束斑優(yōu)于50 nm
Triple Ion Focusing Time-of-Flight (TRIFT)
—三重離子束聚焦質(zhì)量分析器
寬帶通能量、寬立體接受角度
—適用于各種形貌樣品分析
主離子束激發(fā)的二次離子會以不同角度和能量從樣品表面飛出，特別是對于有高度差異和形貌不規(guī)則的樣品，即使相同的二次離子在分析器中會存在飛行時間上的差異，因此導(dǎo)致質(zhì)量分辨率變差，并對譜峰形狀和背景產(chǎn)栺影響。
TRIFT質(zhì)量分析器可以同時對二次離子發(fā)射角度和能量進(jìn)行校正，保證相同二次離子的飛行時間一致，所以TRIFT兼顧了高質(zhì)量分辨率和高檢測靈敏度優(yōu)勢，對于不平整樣品的成像可以減少陰影效應(yīng)。
全新的全自動樣品傳送系統(tǒng)
PHI nanoTOF3 配置了在XPS的Q系列上表現(xiàn)優(yōu)異的全自動樣品傳送系統(tǒng)：樣品尺寸可達(dá)100 mmx100 mm，而且分析室標(biāo)配內(nèi)置樣品托停放裝置；結(jié)合分析序列編輯器（Queue Editor），可以實現(xiàn)對大量樣品的全自動連續(xù)測試。
采用新開發(fā)的脈沖氬離子槍
自動荷電雙束中和技術(shù)
TOF-SIMS測試的大部分樣品為絕緣樣品，而絕緣樣品表面通常有荷電效應(yīng)。PHI nanoTOF3 采用自動荷電雙束中和技術(shù)，通過同時發(fā)射低能量電子束和低能量氬離子束，可實現(xiàn)對任何類型和各種形貌的絕緣材料的真正自動荷電中和，無需額外的人為操作。
※需要選配Ar離子槍
MS/MS平行成像
同時采集MS1/MS2數(shù)據(jù)
在TOF-SIMS測試中，MS1質(zhì)量分析分析器接收從樣品表面產(chǎn)生的所有二次離子碎片，對于質(zhì)量數(shù)接近的大分子離子，MS1譜圖難以區(qū)分。通過安裝串聯(lián)質(zhì)譜MS2，對于特定離子進(jìn)行碰撞誘導(dǎo)解離栺產(chǎn)特征離子碎片，MS2譜圖可以實現(xiàn)對分子結(jié)構(gòu)的進(jìn)一步鑒定。
PHI nanoTOF3 具備串聯(lián)質(zhì)譜MS/MS平行成像功能，可以同時獲取分析區(qū)域的MS1和MS2數(shù)據(jù)，為分子結(jié)構(gòu)的精準(zhǔn)分析提供了強有力的工具。
遠(yuǎn)程訪問實現(xiàn)對儀器的遠(yuǎn)程控制
PHI nanoTOF3 允許通過局域網(wǎng)或互聯(lián)網(wǎng)訪問儀器。只需將樣品臺放入進(jìn)樣室，就可以對進(jìn)樣、換樣、測試和分析等所有操作進(jìn)行遠(yuǎn)程控制。我們的專業(yè)人員可以對儀器進(jìn)行遠(yuǎn)程診斷*。
多樣化配置充分發(fā)揮TOF-SIMS潛力
兼容多種儀器的樣品傳送管
樣品傳送管是專為大氣敏感類樣品所設(shè)計的樣品轉(zhuǎn)移裝置。通過該裝置可以實現(xiàn)在惰性氣體保護(hù)下的樣品制備與轉(zhuǎn)移，從而避免樣品在傳遞過程中接觸大氣。此外，樣品傳送管與PHI旗下多款XPS和AES設(shè)備相兼容，便于用戶使用多種表面分析技術(shù)進(jìn)行綜合分析。
進(jìn)樣室手套箱
可以選配直接連接到樣品進(jìn)樣室的可拆卸手套箱。鋰離子電池和有機OLED等容易與大氣發(fā)栺反應(yīng)的樣品可以直接安裝在樣品臺上。此外，在冷卻分析后更換樣品時，可以防止樣品表面結(jié)霜。
加熱和冷卻樣品臺
樣品可以在測量位置加熱和冷卻。溫度在-150℃到200℃之間可控，從進(jìn)樣到測量，可隨時監(jiān)測和控制溫度。
用于曲面分析的樣品臺
可以在不受凹凸影響的情況下觀察曲面的樣品臺。對采譜的質(zhì)量范圍沒有限制，可以實現(xiàn)寬捕獲立體角和高精度質(zhì)譜分析。適用于球體、線材和纖維等樣品。
氬團(tuán)簇離子槍
使用氬團(tuán)簇離子束(Ar-GCIB)可以對有機材料進(jìn)行低損傷離子刻蝕，實現(xiàn)在保持有機化合物分子結(jié)構(gòu)的同時進(jìn)行深度剖析。
銫離子槍和氬/氧離子槍
可選配銫離子槍（負(fù)離子分析）和氧離子槍（正離子分析）作為濺射離子槍用于無機材料的高靈敏度分析，這兩種離子槍對相應(yīng)極性的二次離子具有增強效應(yīng)。
