鋨/等離子體鍍膜機(jī)
概述
鋨等離子體鍍膜機(jī)是一種利用直流等離子體放電的負(fù)輝光相區(qū)對樣品進(jìn)行鍍膜的等離子體化學(xué)氣相沉積鍍膜機(jī)。主要用于掃描電鏡樣品上的導(dǎo)電薄膜涂層。
傳統(tǒng)的金屬鍍膜機(jī)，有各種各樣的所謂濺射鍍膜機(jī)，它們使用重金屬作為鍍膜材料，如金、鉑、鈀等，用這些方法，涂層本身的粒度問題是不可避免的。此外，如果在高倍鏡下進(jìn)行檢測，用這些方法涂覆的試樣無法避免由于暴露于強(qiáng)電子束而引起的充電、熱損傷和污染，從而導(dǎo)致掃描電鏡圖像的分辨率較低。而鋨/等離子體鍍膜機(jī)則避免了這些劣勢，無粒度問題，無熱損傷和污染，高分辨率。
應(yīng)用
1 鋨薄膜
?用于掃描電鏡樣品的導(dǎo)電薄膜
?防止掃描電鏡/透射電鏡樣品受到污染
?AFM樣品保護(hù)膜
?SPM試樣的導(dǎo)電保護(hù)膜
?SPM懸臂保護(hù)膜
2 等離子聚合膜（萘）
?光纖試樣保護(hù)膜
?防止嵌入樹脂的樣品剝落
?氟樹脂涂料（Os-PF混合涂料）
?TEM柵支撐膜
?透射電鏡超薄截面的防漂移
3 鋨超薄膜[可選]
?用FESEM觀察絕緣體的超微結(jié)構(gòu)
?通過ESCA/AES對絕緣體頂面進(jìn)行定量分析
?增強(qiáng)透射電鏡樣品的導(dǎo)電性
?AFM樣品的防靜電處理
?STM試樣的抗靜電處理
?蝕刻（僅混合氣體法）
4 親水處理[可選]
?氟樹脂表面鋨涂層的預(yù)親水處理等。
?防止嵌入樹脂的樣品剝落
?TEM支撐膜表面的親水化
?TEM網(wǎng)格的親水化
?超顯微切片機(jī)用金剛石刀的親水化
?改善潤濕性
5 深井電極[可選]
?樣品涂層高度
型號
OPC60A 鋨膜專用
涂層類型：Osmium
厚度：幾納米到幾百納米
OPC80T 鋨/等離子聚合膜
涂層類型：Osmium/PF（萘）
厚度：幾納米到幾百納米
