應(yīng)用領(lǐng)域
光譜共焦測(cè)厚儀,中文應(yīng)用范圍:3C、半導(dǎo)體、汽車、新能源等領(lǐng)域。
產(chǎn)品特點(diǎn)
1. 適應(yīng)性強(qiáng);
2. 精度高;
3. 穩(wěn)定性強(qiáng);
4. 感光度高。
產(chǎn)品參數(shù)
測(cè)量頭 | ||
序號(hào) | 項(xiàng)目 | 參數(shù) |
1 | 型號(hào) | CDS-2001.5 |
2 | 工作距離 | 20mm |
3 | 測(cè)量范圍 | ±0.75mm |
4 | 線性度 | ±0.6μm(校準(zhǔn)后滿量程測(cè)量時(shí)誤差值) |
5 | 分辨率 | 0.05μm(測(cè)量中心零點(diǎn)平均10噪聲大小程度) |
6 | 光斑大小 | 35μm(量程中心位置理論光斑直徑) |
7 | 重復(fù)精度 | 0.6μm(重復(fù)取放樣品50次) |
8 | 尺寸 | Φ20*69mm |
控制器 | ||
序號(hào) | 項(xiàng)目 | 參數(shù) |
1 | 型號(hào) | CDS-5508 |
2 | PC接口 | USB |
3 | 通訊接口 | 串口 |
4 | 額定電壓 | DC24V |
5 | 額定電流 | 1A |