臺(tái)式線寬測(cè)試儀
儀器特點(diǎn)
1、快速軟體量測(cè)功能:框選被測(cè)線寬區(qū)域后自動(dòng)確定線邊界,輸出線寬值,判斷NG、OK,并同時(shí)輸出被測(cè)項(xiàng)目數(shù)據(jù)報(bào)表,同時(shí)具備SPC統(tǒng)計(jì)分析功能。
2、紅光LED定位
技術(shù)參數(shù)
項(xiàng)目 | 技術(shù)參數(shù) |
測(cè)量精度 | 3X以上精度±1µm; 2X時(shí)精度為±2µm;1X時(shí)精度為±3µm |
光學(xué)放大倍率 | 1.4X-9X |
電子放大倍率 | 70X-450X |
可測(cè)線寬 | ≥20µm |
相機(jī) | 130W像素進(jìn)口相機(jī) |
圖像解析度 | 0.4-2.7um/Pixel |
光源 | LED環(huán)形光源 |
軟件 | 源興YX-XK專用軟件 |
定位 | 紅光LED定位 |
外形尺寸 | 980*720*1260mm |
重量 | 160Kg |