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T 系列 MFC 質(zhì)量流量控制器MFC

參考價
面議
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  • 型號T系列MFC
  • 品牌其他品牌
  • 所在地深圳市
  • 更新時間2025-07-30
  • 廠商性質(zhì)代理商
  • 入駐年限16
  • 實名認證已認證
  • 產(chǎn)品數(shù)量382
  • 人氣值541751
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公司交通便利,乘坐地鐵11號線碧海灣站,地鐵1號線西鄉(xiāng)站即可到達。

公司專注于真空及鍍膜設(shè)備行業(yè),致力于把世界上真空產(chǎn)品和設(shè)備引進中國,為我們的客戶創(chuàng)造更多的價值。

多年來,在真空及鍍膜行業(yè),我們積累了豐富的專業(yè)知識和行業(yè)經(jīng)驗,誠信為廣大客戶提供優(yōu)質(zhì)的服務(wù), 在真空、光學(xué)、電子、半導(dǎo)體、平板顯示、LED、太陽能等相關(guān)領(lǐng)域,我們與客戶緊密合作,共贏發(fā)展,擁有了大量的優(yōu)質(zhì)合作伙伴。



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產(chǎn)地國產(chǎn) 加工定制
質(zhì)量流量控制器MFC T 系列 MFC采用熱式傳感器 + 低熱電磁閥 + 壓力傳感技術(shù)
滿足主流測量精度 ≤±1.0% S.P. (25% - 100% F.S.)
重復(fù)性對標(biāo)行業(yè)產(chǎn)品 ( ≤±0.2% F.S. )
質(zhì)量流量控制器MFC 產(chǎn)品詳情

質(zhì)量流量控制器MFCT 系列 MFC

采用熱式傳感器 + 低熱電磁閥 + 壓力傳感技術(shù)滿足主流測量精度 ≤±1.0% S.P. (25% - 100% F.S.)重復(fù)性對標(biāo)行業(yè)產(chǎn)品 ( ≤±0.2% F.S. )。

工作原理

  • 熱式測量原理:利用兩個溫度傳感器,一個測量氣體的初始溫度,另一個測量被加熱后的氣體溫度,通過計算溫差,并結(jié)合氣體的比熱容,精確計算出氣體的質(zhì)量流量,無需對壓力和溫度的變化進行補償,提高了測量精度1。

  • 壓差式測量原理:由壓差式流量傳感器實時測量氣體流經(jīng)流過節(jié)流元件時產(chǎn)生的壓差來計算氣體的體積流量,控制閥根據(jù)流量傳感器的測量與反饋,精確調(diào)整開度,以確保通過 MFC 的氣體流量與預(yù)設(shè)值相匹配2。

產(chǎn)品特點

  • 高精度測量:采用先進的傳感器技術(shù)和制造工藝,能夠?qū)崿F(xiàn)高精度的氣體流量測量和控制,測量誤差可低至 ±0.5% 讀數(shù),重復(fù)性達到 ±0.1%,滿足半導(dǎo)體等gaoduan領(lǐng)域?qū){米級流量波動的嚴苛要求3。

  • 快速響應(yīng):配備 PID 控制器和高速電磁閥,這些組件能夠在毫秒級的時間內(nèi)對流量的偏差進行修正,響應(yīng)時間通常小于 100ms,可及時應(yīng)對各種動態(tài)變化,確保流量的穩(wěn)定1。

  • 寬量程范圍:量程覆蓋范圍廣,從微小流量到高流速場景均可適用,例如可以覆蓋 0.1sccm 至 20000slpm 的范圍,滿足不同應(yīng)用場景的需求3。

  • 多氣體兼容:支持多種氣體的精確測量和控制,如 N?、Ar、H?、SiH?、NH?、CF?等常見氣體,可通過多氣體校準(zhǔn)技術(shù),確保在不同氣體測量時都能保持高精度14。

  • 良好的穩(wěn)定性:關(guān)鍵部件如傳感器和加熱元件通常采用恒溫控制技術(shù),減少溫度漂移對測量精度的影響。同時,采用激光焊接工藝來制造流道,有效避免泄漏現(xiàn)象的發(fā)生,從而保證測量結(jié)果的準(zhǔn)確性和長期穩(wěn)定性1

  • 多種通訊接口:配備 RS485、Profibus 等通訊接口,支持觸摸屏實時顯示溫度、壓力、標(biāo)況 / 工況流量等參數(shù),方便用戶進行遠程操作和監(jiān)控,可與各種自動化控制系統(tǒng)集成3

應(yīng)用領(lǐng)域4

  • 半導(dǎo)體與電子制造:在晶圓加工、薄膜沉積(CVD/PVD)和刻蝕(Etching)等工藝中,精確控制反應(yīng)氣體的流量,確保工藝穩(wěn)定性和芯片性能。

  • 化工與制藥行業(yè):用于化學(xué)反應(yīng)過程中控制反應(yīng)器中氣體的流量,如 O?、CO?等,優(yōu)化反應(yīng)速率和產(chǎn)物質(zhì)量。

  • 新能源與燃料電池生產(chǎn):調(diào)節(jié)氫氣和氧氣的輸入流量,優(yōu)化電化學(xué)反應(yīng)效率和電池輸出功率,同時也可用于控制電解過程中氧氣和氫氣的分離與流量,以及管理 CO?捕獲和壓縮過程中的氣體流量。

  • 環(huán)境監(jiān)測與實驗室:為氣相色譜儀(GC)、質(zhì)譜儀(MS)等設(shè)備提供標(biāo)準(zhǔn)氣體流量,也可用于精確控制環(huán)境監(jiān)測設(shè)備的氣體采樣流量,如 PM2.5、VOCs 檢測等。












































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產(chǎn)品名稱參考價地區(qū)公司名稱更新時間 
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