概述

特點(diǎn)

• 長期零點(diǎn)穩(wěn)定性，每年變動(dòng)小于滿量程的 ± 0.5%ar
• 穩(wěn)定時(shí)間極短：300 ms - <700>
• 滿量程流速高達(dá) 300 slpm
• 超高純度流路 - 4µ 英寸 Ra 表面處理
• 符合 SEMI F20 標(biāo)準(zhǔn)的接液材料
• 采用高速 ARM 處理器的耐腐蝕 Hastelloy® T-Rise 傳感器
• 可進(jìn)行快速反應(yīng)的無隔膜閥組件不受壓差影響，并且測試表明產(chǎn)品經(jīng)七百萬次循環(huán)
• MultiFlo™ 技術(shù)擁有的靈活性 — 一臺(tái)設(shè)備經(jīng)編程設(shè)定后即可滿足數(shù)千種不同氣體和流量測量范圍配置的需求，無需從氣路上拆除 MFC 并且不影響精度
• 本地顯示屏可指示流量、溫度、壓力和網(wǎng)絡(luò)地址以便于輕松解決供氣和隔離閥故障問題
• DeviceNet™、RS-485 L-協(xié)議和模擬接口

優(yōu)勢

• GF125 系列產(chǎn)品通過將布魯克斯儀器的流量傳感器技術(shù)與能夠進(jìn)行快速反應(yīng)的無隔膜閥組件相結(jié)合，可將響應(yīng)速度和穩(wěn)定速度較之其他質(zhì)量流量控制器提高 3 倍。
• 經(jīng)優(yōu)化的接液流路，可提升干燥效果
• MultiFloTM 技術(shù)可實(shí)現(xiàn) MFC 流量測定量程的重新設(shè)定，通常是按 3:1 下調(diào)并且不影響精度，量程比或內(nèi)漏率，以提供的工藝和庫存靈活性
• 全面的氣體數(shù)據(jù)庫為您提供泛的氣體保護(hù)信息
• 壓力變化補(bǔ)償 (PTI) 功能能夠克服傳統(tǒng) MFC 的限制（受進(jìn)氣壓力波動(dòng)影響明顯）。產(chǎn)品效果表明其性能穩(wěn)定并且可達(dá)到預(yù)期精度。
• 便捷的用戶顯示屏和獨(dú)立的診斷/維護(hù)端口有助于設(shè)備安裝、監(jiān)測和故障排除

關(guān)鍵應(yīng)用

• 半導(dǎo)體
• MOCVD（金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積）
• 要求使用高純度全金屬流路的氣體流量控制應(yīng)用

便捷的維護(hù)端口

• 輕松進(jìn)行診斷和故障排除
• 不影響工具通信

用戶界面

• 輕松安裝、啟動(dòng)和操作

機(jī)械耦合閥

• 耐腐蝕全金屬閥
• 采用無隔膜設(shè)計(jì)并且不受壓差影響
• 高速吹掃功能
• 測試表明產(chǎn)品經(jīng)四百萬次循環(huán)

壓力傳感器

• 不受輸送壓力擾動(dòng)或波動(dòng)影響的穩(wěn)定流量控制

第二代溫升傳感器

• 出色的長期穩(wěn)定性（<+0.5%>
• 提高了信噪比
• 高速吹掃功能
• 可在較低溫度下工作，適用于易發(fā)生熱分解的氣體

溫度傳感器

• 可在全溫度范圍內(nèi)進(jìn)行準(zhǔn)確的流量和溫度測量
• 實(shí)時(shí)補(bǔ)償環(huán)境溫度波動(dòng)，實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確的氣體化學(xué)控制
  

型號(hào)

規(guī)格

文檔

CAD Drawings

Use the following guide (model code information from data sheet) to translate the CAD configurations available below. If you need assistance or can’t find what you’re looking for, please contact Applications Engineering or your local Brooks Instrument representative.

Example: GF125 - WX (Fitting) - GX (Connector) - STEP 

附件和軟件

0250 讀數(shù)應(yīng)用

Controls and powers up to 4 devices

MultiFlo™ 配置器

A comprehensive gas database enabling you to configure your MultiFlo™ capable MFC for thousands of gas types and ranges without removing it from the gas line.