隨著新興太赫茲應用的大量擴展，如高速5G通信，衛(wèi)星，非侵入性光譜，安全和監(jiān)視，醫(yī)療和保健設備以及短程汽車雷達，對精確，可靠和可重復測量數(shù)據(jù)的需求比以往變得更加重這些THz
MPI TS150-THZ 工程探針臺系統(tǒng)是一種專用的，經(jīng)濟高效的手動探頭系統(tǒng)，專為基板和亞太赫茲150 mm晶圓的精密分析而設計。該系統(tǒng)非常穩(wěn)定，具有大型探頭壓板和低調(diào)設計。這些基本元件中的每一個都需要支持各種RF和mmW應用，例如高達110 GHz的寬帶，高達1.1THz的帶狀解決方案，負載牽引和RF噪聲。
單機多應用設計
無縫集成各種寬帶、差分、毫米波或?qū)拵ьl率擴展器和自動阻抗調(diào)諧器
全新設計的擴展器、調(diào)諧器集成，可實現(xiàn)的動態(tài)測量
的機械穩(wěn)定性和重復性，實現(xiàn)方便和安全的操作
人體工程學設計
方便單手操作的，快速移動氣浮式樣品臺設計
堅固且空間充足的工作臺，可乘載大型微定位器和毫米波模塊擴展器
三段式工作臺快升把手設計 (contact - separation - loading)，實現(xiàn)接觸、分離和加載的高性能
彈性選配與升級
可選振動隔離支持大型自動阻抗調(diào)諧器
專用光學元件，用于縮短電纜和波導的長度，實現(xiàn)的測量方向性
各種夾頭選件，印刷電路板和各種附件，如DC / RF /毫米波定位器
直流、射頻和THZ微定位器的探針板設計
MPI探針懸?？刂芓M配有懸停高度（50、100或150μm）， 便于探針與Pad的對準。
世界上無二,確的接觸/超大行程控制， 精度為1um,便于測量的重復性和精確性
無縫集成任何擴頻器，以在200毫米晶片上獲得 測量方向性
陶瓷輔助夾頭
用于測試單個集成電路的專用ERS熱夾頭
機臺結構：
