MPI探針臺(tái)（各尺寸手動(dòng)、半自動(dòng)機(jī)型；高頻、高壓機(jī)型；高低溫機(jī)型；力學(xué)/光學(xué)/真空/磁學(xué)模塊等等）。

MPI探針臺(tái)系統(tǒng)專(zhuān)業(yè)提供探針臺(tái)及所有相關(guān)直流/射頻附件以及相關(guān)半導(dǎo)體測(cè)試整體解決方案。得益于其的性?xún)r(jià)比，廣受?chē)?guó)內(nèi)外用戶(hù)的好評(píng)。TS150,TS200,TS300是常用的手動(dòng)式探針臺(tái)，簡(jiǎn)單，直觀，方便，  并確保  高度準(zhǔn)確的測(cè)量。

以下是MPI探針臺(tái)的特點(diǎn)：

 Air-bearing stage-氣浮式樣品臺(tái)技術(shù)：很多探針臺(tái)的廠家通常配備的是傳統(tǒng)的滾珠式/軸承式樣品臺(tái)，內(nèi)部移動(dòng)是都會(huì)產(chǎn)生摩擦，因此存在了響應(yīng)慢，易損耗，需定期維護(hù)（添加潤(rùn)滑油）等固有缺點(diǎn)。MPI探針臺(tái)的載物臺(tái)采用的氣浮支撐技術(shù)，我們成為Air-bearing stage技術(shù)。很好解決了傳統(tǒng)的滾珠式/軸承式樣品臺(tái)固有缺點(diǎn)，即消除內(nèi)部摩擦，避免日常使用損耗，免去定期維護(hù)等麻煩。并且該設(shè)計(jì)可以使得樣品臺(tái)在移動(dòng)范圍內(nèi)360°移動(dòng)，而不受X/Y導(dǎo)軌限制移動(dòng)（其他品牌無(wú)法同時(shí)X/Y移動(dòng)，只能選一個(gè)方向移動(dòng)）。

b. Platen Lift技術(shù)-三段平面式升降及下針：影響探針臺(tái)測(cè)試結(jié)果很大程度上取決于探針與樣品的接觸。MPI采用了三段式(0-300um-3mm)下針并且內(nèi)置安全鎖（其他廠家是兩段），不僅實(shí)現(xiàn)了1um重復(fù)性，同時(shí)也使得整個(gè)下針過(guò)程變得十分平緩且平穩(wěn)從而避免了撞針。這大大提升了用戶(hù)的體驗(yàn)，方便了用戶(hù)的操作。

c.溫控觸屏設(shè)計(jì)：MPI手動(dòng)探針臺(tái)可以選配各類(lèi)樣品臺(tái)，包含2英寸、4英寸、6英寸、8英寸樣品臺(tái)，及加熱樣品臺(tái)（200℃/300℃）。并且配備智能化觸摸屏，可以隨時(shí)快速調(diào)節(jié)樣品臺(tái)加熱問(wèn)題，實(shí)時(shí)顯示溫度變化。高精度、便捷的溫度控制功能，便于客戶(hù)進(jìn)行實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)和測(cè)試。

d. Microscope bridge mount：MPI探針臺(tái)具備了Microscope bridge mount，方便用戶(hù)自行購(gòu)置并升級(jí)顯微鏡。這點(diǎn)也是其他探針臺(tái)所不具備的。對(duì)于這類(lèi)的用戶(hù)而言，如果今后要升級(jí)顯微鏡，只能從探針臺(tái)原廠購(gòu)買(mǎi)。但是其實(shí)探針臺(tái)廠家往往并不制造光學(xué)顯微鏡。而MPI則更多的為客戶(hù)考慮，把顯微鏡的選擇權(quán)交在客戶(hù)手里。這也是MPI設(shè)計(jì)了Microscope bridge mount的初衷。

e. 所有核心部件均自行生產(chǎn)：諸如主機(jī)臺(tái)，直流/射頻探針座，直流/射頻線(xiàn)纜及探針等核心部件均為MPI公司自行生產(chǎn)。很多探針臺(tái)廠商的射頻探針也都是從MPI購(gòu)買(mǎi)的。此外，MPI探針臺(tái)的產(chǎn)品線(xiàn)也非常豐富，擁有手動(dòng)、半自動(dòng)、全自動(dòng)、射頻/微波、高功能等所有探針臺(tái)系列。 

設(shè)備結(jié)構(gòu)：