高通量，提高成本收益
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可獲得高質(zhì)量切割截面，區(qū)域尺寸可達(dá)>4×1 mm。
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多樣品臺(tái)設(shè)計(jì)可一次運(yùn)行容納三個(gè)樣品。
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離子研磨速率高，Si 材料 150 μm/h，50 μm 切割高度，可滿(mǎn)足實(shí)驗(yàn)室高通量要求。
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可容納樣品尺寸為 50×50×10 mm。
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可使用的樣品載臺(tái)多種多樣。
簡(jiǎn)單易用，高精度
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可簡(jiǎn)易準(zhǔn)確地完成將樣品安裝到載臺(tái)上以及調(diào)節(jié)與擋板相對(duì)位置的校準(zhǔn)工作。
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通過(guò)觸摸屏進(jìn)行簡(jiǎn)單操控，不需要特別的操作技巧。
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樣品處理過(guò)程可實(shí)時(shí)監(jiān)控，可以通過(guò)體視鏡或 HD-TV 攝像頭觀察。
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LED照明，便于觀察樣品和位置校準(zhǔn)。
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內(nèi)置式，解耦合設(shè)計(jì)的真空泵系統(tǒng)，提供一個(gè)無(wú)振動(dòng)的觀察視野。
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可在制備好的平整的切割截面上可再進(jìn)行襯度增強(qiáng)作用，即離子束刻蝕處理。
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幾乎適用于任何材質(zhì)樣品。
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使用冷凍樣品臺(tái)，擋板和樣品溫度可降至-150 °C。
多種多樣的樣品載臺(tái)
幾乎適合于各式尺寸樣品，并適合于廣泛用途。如用一個(gè)樣品托，就可以完成前機(jī)械預(yù)制備(Leica EM TXP)至離子束切割(Leica EM TIC 3X)，以及 SEM 鏡檢，然后再放入樣品存儲(chǔ)盒中以備后續(xù)檢測(cè)。
襯度增強(qiáng)作用
在離子束切割之后，無(wú)需取下樣品，用同樣的樣品載臺(tái)還可對(duì)樣品進(jìn)行襯度增強(qiáng)作用，可以強(qiáng)化樣品內(nèi)不同相之前的拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)(如晶界)。
人體工學(xué)設(shè)計(jì)，簡(jiǎn)單易用；與LeicaEMTXP相兼容。
| 技術(shù)參數(shù) | |
| 樣品尺寸 | 可容納樣品尺寸50X50X10mm，可獲得有效切割截面面積>4mmX1mm 表面拋光可容納樣品φ38mm，厚度12mm |
| 離子槍 | |
| 離子槍類(lèi)型 | 3 只鞍式離子槍?zhuān)?dú)立電源控制。 |
| 離子束能量 | 1 keV - 10 keV |
| 離子束電流 | 0.5 - 4.5 mA，0.1 mA 步長(zhǎng)調(diào)節(jié) (單個(gè)離子槍) |
| 離子束密度 | 10 mA/cm2(單個(gè)離子槍) |
| 切割速率(邊緣 50 μm 處) | 2.5 μm/min (99% Si:10 keV，3.5 mA) |
| 陰極使用壽命 | > 350 h(8 kV，3.0 mA) |
| 工作氣體 | |
| 氬氣，純度 99.999%(也可以使用其他氣體)。 | |
| 輸入氣壓 0.2 - 0.8 bar | |
| 觀察系統(tǒng) | |
| S6E():放大倍率(40 x)、分辨率(~ 12 μm)。 | |
| M80():放大倍率(77 x)、分辨率(~ 7 μm)。 | |
| M80():放大倍率(23 x)、分辨率(~ 3 μm)。 | |
| 樣品臺(tái) | |
| 可選配：液氮制冷冷臺(tái)-150°至30°，25L液氮罐及自動(dòng)泵，具有自動(dòng)快速制冷功能 | |
| 可選配：三樣品臺(tái)，可一次連續(xù)處理三個(gè)樣品 | |
| 可選配：旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)，用于對(duì)樣品進(jìn)行離子束拋光 | |
| 環(huán)境條件 | |
| 濕度 | ≤ 80%(無(wú)冷凝水)。 |
| 溫度 | 15 °C - 30 °C |
| 海拔 | 低于2000 m |
| 設(shè)備污染指數(shù)(IEC 61010-1) | 2 |
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