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u采用BROS公司研發(fā)的Z軸自動測量系統(tǒng),解決了以往工具顯微鏡Z軸測量精度不準的缺陷,測量模式是通過Z軸自動對焦系統(tǒng)利用光學影像系統(tǒng)配備的光纖高清相機,重復精度可以達到1.5UM是目前是光學測量顯微鏡Z軸測量的高精度.
uMM-300/400/工具金像顯微鏡Z軸的配備自動對焦系統(tǒng),大幅度降低人員操作復雜性,讓人機工學做得高質(zhì)，是目前的工具金像顯微鏡u新型的MM-300 ,MM-400工具金像顯微鏡配備SOPTOP公司的MX無限遠色差校正光學鏡頭,可進行明場/暗場/偏光/DIC觀察. 或配備NIKON公司的CFI60無窮遠 高解析力光學鏡頭在高倍的觀察下，可使工件的解析度增加，標準高倍率之工作距離也可至 1mm 。可選擇使用不同功能之旋轉(zhuǎn)鼻輪，五孔鼻輪可用于明視野觀察，明暗視野觀察或明暗視野加DIC 可供客戶需要選擇.u?燈源采用了目前是的LED做照明光源,大限度降低因以往采用鹵素燈泡發(fā)熱而造成的熱脹誤差.
u新型的MM-300 ,MM-400工具金像顯微鏡配備集成的MM控制器接口的支架和新研發(fā)的DP-E1數(shù)據(jù)處理器或SC計數(shù)器以及基于個人計算機的BROS-MAX數(shù)據(jù)處理軟件能夠提供出色的幾何數(shù)據(jù)處理和存儲能力.
u新型的MM-300 ,MM-400工具金像顯微鏡配備了進行粗調(diào)和微調(diào)的電子手輪裝置，可使儀器到半自動化，提升量測精度，使量測的數(shù)據(jù)達到高精度標準。
u運用范圍：精密模具測量，微電子觀察測量，TFT 液晶檢查分析測量，4寸 5寸 6寸8寸12寸 半導體晶圓檢查測量。
技術(shù)參數(shù)
parameter
