4200A-SCS參數(shù)分析儀（參數(shù)測(cè)試儀）加快各類材料、半導(dǎo)體器件和工藝的開發(fā)，完成制程控制、可靠性分析和故障分析。4200A-SCS是業(yè)內(nèi)性能***電學(xué)特性參數(shù)分析儀，提供同步電流電壓曲線測(cè)試 (I-V曲線測(cè)試)、電容-電壓曲線測(cè)試 (C-V曲線測(cè)試) 和超快脈沖 I-V曲線測(cè)量。

Tektronix泰克 4200A-SCS 參數(shù)分析儀是一種可以量身定制、全面集成 的參數(shù)分析儀，可以同步查看電流電壓(I-V)、電容電壓(C-V) 和超快速脈沖式I-V 特性。作為性能***的參數(shù)分析儀， 4200A-SCS 加快了半導(dǎo)體、材料和工藝開發(fā)速度。

4200A-SCS Clarius^TM 基于GUI 的軟件提供了清楚的、不折不 扣的測(cè)量和分析功能。憑借嵌入式測(cè)量專業(yè)知識(shí)和數(shù)百項(xiàng)隨時(shí) 可以投入使用的應(yīng)用測(cè)試，Clarius Software 可以更深入地挖掘 研究過(guò)程，快速而又滿懷信心。

4200A-SCS 參數(shù)分析儀可以根據(jù)不同用戶需求進(jìn)行靈活配 置，不管是現(xiàn)在還是未來(lái)，都可以隨時(shí)對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行升級(jí)。通過(guò) 4200A-SCS 參數(shù)分析儀，通往發(fā)現(xiàn)之路現(xiàn)在變得異常簡(jiǎn)便。
 

主要性能指標(biāo)

I-V 源測(cè)量單元(SMU)

• ± 210 V/100 mA 或 ± 210 V/1 A 模塊
• 100 fA測(cè)量分辨率
• 選配前端放大器提供了 10 aA測(cè)量分辨率
• 10 mHz - 10 Hz 超低頻率電容測(cè)量
• 100 μF負(fù)載電容
• 四象限操作
• 2 線或 4 線連接

C-V 多頻率電容單元(CVU)

• AC 阻抗測(cè)量 (C-V, C-f, C-t)
• 1 kHz - 10 MHz 頻率范圍
• ± 30 V (60 V差分)內(nèi)置DC偏置源，可以擴(kuò)展到± 210 V(420 V 差分)
• 選配 CVIV 多通道開關(guān)，在 I-V 測(cè)量和 C-V 測(cè)量之間簡(jiǎn)便切換脈沖式I-V 超快速脈沖測(cè)量單元(PMU)
• 兩個(gè)獨(dú)立的或同步的高速脈沖 I-V 源和測(cè)量通道
• 200 MSa/s，5 ns 采樣率
• ±40 V (80 V p-p)，±800 mA
• 瞬態(tài)波形捕獲模式
• 任意波形發(fā)生器 Segment ARB? 模式，支持多電平脈沖波形，10 ns 可編程分辨率

高壓脈沖發(fā)生器單元(PGU)

• 兩個(gè)高速脈沖電壓源通道
• ±40 V (80 V p-p)，± 800 mA
• 任意波形發(fā)生器 Segment ARB?模式，支持多電平脈沖波形，10 ns 可編程分辨率I-V/C-V 多通道開關(guān)模塊 (CVIV)
• 在 I-V測(cè)量和 C-V 測(cè)量之間簡(jiǎn)便切換，無(wú)需重新布線或抬起探針
• 把 C-V測(cè)量移動(dòng)到任意端子，無(wú)需重新布線或抬起探針遠(yuǎn)程前端放大器/ 開關(guān)模塊(RPM)
• 在 I-V 測(cè)量、C-V 測(cè)量和超快速脈沖 I-V 測(cè)量之間自動(dòng)切換
• 把 4225-PMU的電流靈敏度擴(kuò)展到數(shù)十皮安
• 降低電纜電容效應(yīng)

遠(yuǎn)程前端放大器 / 開關(guān)模塊 (RPM)

● 在 I-V 測(cè)量、C-V 測(cè)量和超快速脈沖 I-V 測(cè)量之間自動(dòng)切換

● 把 4225-PMU 的電流靈敏度擴(kuò)展到數(shù)十皮安

● 降低電纜電容效應(yīng)
技術(shù)優(yōu)勢(shì)：

1、隨時(shí)可以投入使用、可以修改的應(yīng)用測(cè)試、項(xiàng)目和器件，縮短測(cè)試開發(fā)時(shí)間

2、內(nèi)置測(cè)量視頻的儀器，測(cè)試視頻由應(yīng)用工程師提供，分為4種語(yǔ)言，縮短學(xué)習(xí)周期

3、pin to pad接觸檢查，確保測(cè)量可靠

4、多種測(cè)量功能

5、數(shù)據(jù)顯示、分析和代數(shù)運(yùn)算功能

6、專家視頻，降低特性分析復(fù)雜度，觀看吉時(shí)利應(yīng)用工程師制作的內(nèi)置視頻，迅速掌握應(yīng)用，縮短學(xué)習(xí)周期。數(shù)小時(shí)的專家測(cè)量專業(yè)幫助，在發(fā)生意想不到的結(jié)果或?qū)υ鯓釉O(shè)置測(cè)試存在疑問(wèn)時(shí)，將為您提供指引。Clarius Software短專家視頻支持四種語(yǔ)言(英語(yǔ)、中文、日語(yǔ)和韓語(yǔ))，可以迅速讓你洞察先機(jī)。

7、大量隨時(shí)可以使用的應(yīng)用測(cè)試可供選擇，通過(guò)Clarius庫(kù)中裝備的450多項(xiàng)應(yīng)用測(cè)試，您=可以選擇或修改預(yù)先定義的應(yīng)用測(cè)試，加快特性分析速度，或從一開始簡(jiǎn)便地創(chuàng)建自定義測(cè)試。只需三步，Clarius Software就可以引導(dǎo)新用戶像專家一樣完成參數(shù)分析。

8、實(shí)時(shí)結(jié)果和參數(shù)，自動(dòng)數(shù)據(jù)顯示、算法分析和實(shí)時(shí)參數(shù)提取功能，加快獲得所需信息的速度。不必?fù)?dān)心數(shù)據(jù)丟失，因?yàn)樗袣v史數(shù)據(jù)都會(huì)保存下來(lái)。

9、無(wú)需示波器檢驗(yàn)脈沖測(cè)量，脈沖定時(shí)預(yù)覽模式可以簡(jiǎn)便地查看脈沖定時(shí)參數(shù)，確認(rèn)脈沖式I-V測(cè)試按希望的方式執(zhí)行。使用瞬態(tài)I-V或波形捕獲模式，進(jìn)行基于時(shí)間的電流或電壓測(cè)量，而無(wú)需使用外部示波器。
應(yīng)用方向：

MOSFET, BJT 晶體管；材料特性分析；非易失性存儲(chǔ)設(shè)備；電阻率系數(shù)和霍爾效應(yīng)測(cè)量；NBTI/PBTI；III-V 族器件；失效分析；納米器件；二極管和 pn 聯(lián)結(jié)；太陽(yáng)能電池；傳感器；MEMS器件；電化學(xué)；LED和OLED。

為材料、半導(dǎo)體器件和工藝開發(fā)提供***的參數(shù)分析儀