產(chǎn)品描述: MEAS的氣體流量傳感元件由快速響應(yīng)的鎳熱膜和氮化硅基板組成,以確保傳感器的高靈敏度和快速響應(yīng)速度。傳感器適合汽車行業(yè)的應(yīng)用。芯片還包括一個(gè)用于補(bǔ)償環(huán)境溫度的參考傳感器,由與熱膜相同材料的鎳電阻薄膜制成。該型號(hào)利用兩片熱膜進(jìn)行雙向測量,用于補(bǔ)償?shù)膮⒖紓鞲衅鲃t置于另一塊基板上,測量實(shí)際空氣溫度。
特點(diǎn):
- 高可靠性和長期穩(wěn)定性
- 響應(yīng)迅速
- 適合不同形狀的氣流通道
- 可以測量幾乎所有氣體和揮發(fā)物