1) 支持超大/超重樣品測(cè)試
可搭載的樣品尺寸：“SU3800” 標(biāo)配可搭載直徑200mm樣品的樣品倉(cāng)，可應(yīng)對(duì)高度為80mm、重量為2kg的樣品。 “SU3900”作為日立的大型掃描電鏡，標(biāo)配可搭載直徑300mm樣品的樣品倉(cāng)，可應(yīng)對(duì)高度為130mm、重量為5kg(比前代機(jī)型提高2.5倍*2)的樣品
(2) 支持大視野觀察
■“SU3800”與“SU3900”的觀察范圍分別是：直徑130mm、直徑200mm
■安裝有“SEM MAP”導(dǎo)航功能，只需在導(dǎo)航畫(huà)面上觀察目標(biāo)位置，即可移動(dòng)視野
■安裝有“Multi Zigzag”系統(tǒng)，可在不同的視野自動(dòng)拍攝多張高倍率圖像，并將取得的圖像拼接在一起，生成大視野高像素圖像
(3) 通過(guò)自動(dòng)化功能提高操作性能
■通過(guò)自動(dòng)光路調(diào)整和各種自動(dòng)化功能，樣品設(shè)置完后立即可以開(kāi)始觀察。關(guān)于圖像調(diào)整，自動(dòng)功能執(zhí)行時(shí)的等待時(shí)間比前代機(jī)型*4縮短了三分之一以下
■安裝有“Intelligent Filament Technology(IFT)”軟件，自動(dòng)監(jiān)控鎢燈絲*5的狀況，顯示預(yù)計(jì)的更換時(shí)期。在長(zhǎng)時(shí)間的連續(xù)觀察和顆粒度解析等大視野分析時(shí)，也可避免長(zhǎng)時(shí)間測(cè)試過(guò)程中因鎢燈絲使用壽命到期所造成的中斷觀察。
| ITEM | SU3800 | SU3900 | |
|---|---|---|---|
| 二級(jí)電子分解能 | 3.0nm（加速電壓30kV、WD=5mm、高真空模式） | ||
| 15.0nm（加速電壓1kV、WD=5mm、高真空模式） | |||
| 背散射電子分解能 | 4.0nm（加速電壓30kV、WD=5mm、低真空模式） | ||
| 倍率 | ×5～×300,000（照片倍率*1） | ||
| ×7～×800,000（實(shí)際顯示倍率*2） | |||
| 加速電壓 | 0.3kV～30kV | ||
| 低真空度設(shè)定 | 6～650 Pa | ||
| 圖像位移 | ±50µm（WD＝10mm） | ||
| 樣品尺寸 | 200mm直徑 | 300mm直徑 | |
| 樣品臺(tái) | X | 0～100mm | 0～150mm |
| Y | 0～50mm | 0～150mm | |
| Z | 5～65mm | 5～85mm | |
| R | 360°連續(xù) | ||
| T | －20°～+90° | ||
| 可觀察范圍 | 130mm直徑（R并用） | 200mm直徑（R并用） | |
| 可觀察高度 | 80mm（WD=10mm） | 130mm（WD=10mm） | |
| 電機(jī)驅(qū)動(dòng) | 5軸電機(jī)驅(qū)動(dòng) | ||
| 電子光學(xué)系統(tǒng) | 電子槍 | 中心操控式鎢絲發(fā)射 | |
| 物像鏡頭光圈 | 4孔可動(dòng)光圈 | ||
| 檢測(cè)系統(tǒng) | 二級(jí)電子檢測(cè)器、高靈敏半導(dǎo)體背散射電子檢測(cè)器 | ||
| EDX分析WD | WD＝10mm（T.O.A＝35°） | ||
| 圖像顯示 | 自動(dòng)光軸調(diào)整功能 | 自動(dòng)光束調(diào)整（AFS→ABA→AFC→ABCC） | |
| 自動(dòng)光軸調(diào)整（實(shí)時(shí)級(jí)別對(duì)齊） | |||
| 自動(dòng)調(diào)整光束亮度 | |||
| 自動(dòng)圖像調(diào)整功能 | 自動(dòng)亮度和對(duì)比度控制（ABCC） | ||
| 自動(dòng)對(duì)焦控制（AFC） | |||
| 自動(dòng)標(biāo)記和焦點(diǎn)功能（ASF） | |||
| 自動(dòng)燈絲飽和度調(diào)整（AFS） | |||
| 自動(dòng)光束對(duì)準(zhǔn)（ABA） | |||
| 自動(dòng)啟動(dòng)（HV-ON→ABCC→AFC） | |||
| 操作輔助功能 | 光機(jī)旋轉(zhuǎn)、動(dòng)態(tài)聚焦、圖像質(zhì)量改善功能、數(shù)據(jù)輸入（點(diǎn)對(duì)點(diǎn)測(cè)量、角度測(cè)量、文本）、預(yù)設(shè)放大、樣品臺(tái)位置導(dǎo)航功能（SEM MAP）、光束標(biāo)記功能 | ||
| 配件 | ■硬件:軌跡球、操縱桿、操作面板、壓縮機(jī)、高靈敏度操作低空探測(cè)器（UVD）、紅外CCD探測(cè)器、攝像機(jī)導(dǎo)航系統(tǒng)■軟件:SEM數(shù)據(jù)管理器外部通訊接口、3D捕獲、裝置臺(tái)移動(dòng)限制解除功能、EDS集成 | ||
| 配件（外部裝置） | 能量散射X射線分析儀（EDS）、波長(zhǎng)色散X射線分析儀（WDS）、 各種外部功能臺(tái)（加熱臺(tái)、冷卻臺(tái)、牽引臺(tái)） | ||
* 1.指正放大倍率為127 mm x 95 mm（4x5照片尺寸）的顯示尺寸。
* 2.放大倍率為509.8 mm x 286.7 mm（1,920 x 1,080像素）的顯示尺寸。
