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納米尺度3D光學(xué)干涉測(cè)量系統(tǒng) VS1800

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  • 廠商性質(zhì)其他
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  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
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測(cè)量表面形貌的新標(biāo)準(zhǔn)隨著材料不斷趨向平坦化、薄膜化及結(jié)構(gòu)的微細(xì)化,人們開始要求比傳統(tǒng)的普通SPM(掃描探針顯微鏡)、觸針式粗糙度測(cè)量?jī)x及激光顯微鏡等產(chǎn)品更高的測(cè)量精度。相比較利用光干涉原理的白光干涉掃描顯微鏡,納米尺度3D光學(xué)干涉測(cè)量系統(tǒng)VS1800,使用更方便,測(cè)量精度跟高,測(cè)量范圍更大。此外,傳統(tǒng)的采用線粗的測(cè)量方式仍存在“測(cè)量位置導(dǎo)致的結(jié)果偏差”和“掃描方向?qū)е碌慕Y(jié)果偏差”等重大課題。VS1......
納米尺度3D光學(xué)干涉測(cè)量系統(tǒng) VS1800 產(chǎn)品詳情
概述
產(chǎn)品參數(shù)

測(cè)量表面形貌的新標(biāo)準(zhǔn)

隨著材料不斷趨向平坦化、薄膜化及結(jié)構(gòu)的微細(xì)化,人們開始要求比傳統(tǒng)的普通SPM(掃描探針顯微鏡)、觸針式粗糙度測(cè)量?jī)x及激光顯微鏡等產(chǎn)品更高的測(cè)量精度。相比較利用光干涉原理的白光干涉掃描顯微鏡,納米尺度3D光學(xué)干涉測(cè)量系統(tǒng)VS1800,使用更方便,測(cè)量精度跟高,測(cè)量范圍更大。此外,傳統(tǒng)的采用線粗的測(cè)量方式仍存在“測(cè)量位置導(dǎo)致的結(jié)果偏差”和“掃描方向?qū)е碌慕Y(jié)果偏差”等重大課題。VS1800的解決對(duì)策是通過參照國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)ISO25178規(guī)定的表面形貌評(píng)估方法來計(jì)算參數(shù),建立測(cè)量表面形貌的新標(biāo)準(zhǔn),從而受到了各界的關(guān)注。

■與普通測(cè)量?jī)x器比較

原子力顯微鏡的納米尺度3D探針測(cè)量系統(tǒng)AFM5500M同樣可實(shí)現(xiàn)高度的分辨率為0.1nm以下,與此相比,納米尺度3D光學(xué)干涉測(cè)量系統(tǒng)VS1800的一大特點(diǎn)在于面內(nèi)方向的測(cè)量范圍更大。發(fā)揮兩種測(cè)量系統(tǒng)各自的優(yōu)點(diǎn),根據(jù)需求選擇的測(cè)量系統(tǒng)有利于生產(chǎn)率的提高。

優(yōu)點(diǎn)

  1. 高分辨率、大范圍
    采用的算法,實(shí)現(xiàn)垂直方向分辨率0.01 nm(Phase模式下)。由于無需依賴于物鏡的倍率即可實(shí)現(xiàn)較高的垂直方向分辨率,即使是大范圍(測(cè)量視野6.4 mm × 6.4 mm)的情況下,也能測(cè)量納米尺度的粗糙度、高差。

    Wafer研磨表面形貌(表面粗糙度Sa 0.58 nm)

  2. 測(cè)量數(shù)據(jù)的重現(xiàn)性高
    高度測(cè)量使用干涉條紋,將Z驅(qū)動(dòng)產(chǎn)生的影響控制在最小程度,從而實(shí)現(xiàn)測(cè)量重現(xiàn)性誤差低于0.1%(Phase模式下)。

  3. 高速測(cè)量
    通過以平面捕捉樣品,不對(duì)X、Y方向進(jìn)行掃描,從而實(shí)現(xiàn)高速測(cè)量,并且由于采用非接觸方式,測(cè)量時(shí)能夠保證不會(huì)給樣品帶來損傷。

  4. 無損傷測(cè)量
    對(duì)于以往切割樣品后形成截面來對(duì)多層膜層結(jié)構(gòu)及層內(nèi)部進(jìn)行的異物測(cè)量,VS1800能夠以無損傷方式進(jìn)行。對(duì)于透明層結(jié)構(gòu)樣品,利用透鏡的高度坐標(biāo)以及各界面產(chǎn)生的反射光,通過各光學(xué)界面出現(xiàn)的干涉條紋輸出虛擬截面圖像。

  5. 測(cè)量簡(jiǎn)單
    搭載有可直觀性使用的操作畫面,可以當(dāng)場(chǎng)確認(rèn)處理后的圖像??梢院?jiǎn)單地將處理及分析內(nèi)容列表、生成原始分析庫(kù)、重復(fù)使用分析庫(kù)等。還支持?jǐn)?shù)據(jù)的批量處理,統(tǒng)一管理多個(gè)樣品及分析結(jié)果,減輕繁雜的后處理程序。
    此外,導(dǎo)入表面形貌評(píng)估方法的國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)ISO25178的項(xiàng)目,自動(dòng)按每個(gè)樣品選擇合適的參數(shù)。VS1800搭載有可對(duì)參數(shù)選擇提供建議的工具,有助于提高管理的精度。

  6. 配置靈活
    手動(dòng)XY樣品臺(tái)為基本型號(hào)Type 1,并提樣品臺(tái)電動(dòng)化逐級(jí)提升的Type 2以及Type 3。各型號(hào)的升級(jí)可通過需求來進(jìn)行,根據(jù)用途輕松引進(jìn)系統(tǒng)


產(chǎn)品參數(shù)
機(jī)型Type 1Type 2Type 3
Z軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)標(biāo)配(Z軸移動(dòng)范圍~10㎜)
PZT驅(qū)動(dòng)新增選配(Z軸移動(dòng)范圍~150 μm)
XY樣品臺(tái)驅(qū)動(dòng)方式手動(dòng)電動(dòng)
移動(dòng)范圍± 50 mm± 75 mm
樣品臺(tái)尺寸W205 × D150 mmW225 × D225 mm
測(cè)角臺(tái)驅(qū)動(dòng)方式手動(dòng)電動(dòng)
移動(dòng)范圍± 2°± 5°
測(cè)量相機(jī)標(biāo)準(zhǔn)相機(jī)或高像素相機(jī)
鏡筒× 1或 × 0.5
變焦透鏡× 0.7透鏡(新增選配)
物鏡× 2.5 × 5 × 10 × 20 × 50 × 110
樣品高度標(biāo)準(zhǔn)0~50 mm
使用加高配件時(shí)50~100 mm0~100 mm
電腦OSWindows 10
減震臺(tái)(帶支架)被動(dòng)式或主動(dòng)式

軟件一覽

標(biāo)配新增選配
測(cè)量軟件表面形貌測(cè)量大傾斜角測(cè)量
分析軟件ISO參數(shù)(參照ISO25178)
輪廓分析、頻帶分解
負(fù)荷曲線分析、顆粒分析
熱歐姆轉(zhuǎn)換、線段分析
界面分析、層面分析
截面面積、線測(cè)量


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