優(yōu)勢：在微電子和半導(dǎo)體行業(yè)中，檢驗(yàn)、過程控制或缺陷和故障分析的速度至關(guān)重要。檢測缺陷的速度越快，您做出響應(yīng)的速度也就越快.
視場寬敞30%:DM3 XL 檢驗(yàn)系統(tǒng)憑借大視場幫助您的團(tuán)隊(duì)更快地識(shí)別缺陷，提高您的收益率。充分利用的宏觀物鏡，視場寬敞 30%。更更多細(xì)節(jié)盡收眼底，工作更高效
看到更多細(xì)節(jié)意味著工作更高效。
為快速掃描達(dá)到 6" 的大組件，DM3 XL 提供的宏觀物鏡。中顯恒業(yè)，進(jìn)口科學(xué)儀器提供商。
利用 0.7x 放大倍率，它可以即刻采集 35.7 mm的視場–比其他常規(guī)掃描物鏡寬敞30%
在宏觀物鏡下，缺陷無所遁形：
提高您的收益率
可靠檢測晶片邊緣或中心顯影不足的區(qū)域
檢測不均勻的徑向膜厚度多細(xì)節(jié)盡收眼底，工作更高效
適用于所有相襯觀察方法的 LED
DM3 XL 針對(duì)所有相襯觀察方法使用 LED 照明。LED 照明可提供恒定的色溫，并在所有亮度等級(jí)下提供真彩色成像。
在所有亮度等級(jí)下實(shí)現(xiàn)真彩色成像
自由調(diào)節(jié)
無需更換燈泡 – 無停機(jī)時(shí)間
可復(fù)制的結(jié)果
由于 LED 使用壽命長，耗電量低，因此還具有巨大的成本節(jié)約潛力。
光學(xué)“高手”
DM3 XL 讓您以實(shí)惠的價(jià)格享受到的光學(xué)性能。
采用斜射照明檢驗(yàn)側(cè)面、邊緣或碎屑：以簡單有效的方式從不同角度照亮樣品，從而實(shí)現(xiàn)各種形貌的可視化。
借助深暗場對(duì)比檢測樣品較低層中的微小劃痕或小顆粒。
您將對(duì)明顯提高的靈敏度和分辨率感到震驚。
不同樣品 – 可變載物臺(tái)插件
無論您想要檢驗(yàn)的樣品是哪種類型，尺寸如何，均有種類豐富的載物臺(tái)插件供您選擇：
載物臺(tái)尺寸：150 mm x 150 mm
載物臺(tái)插件：金屬插件、晶片支座或掩模支座
快速的粗略或精準(zhǔn)載物臺(tái)定位
工作舒適直觀
彩色編碼光圈輔助 (CCDA) 對(duì)分辨率、對(duì)比和景深的基本設(shè)置進(jìn)行簡化，有助于提升您的工作速度，并減少操作失誤。
直觀明了的功能幫助您的團(tuán)隊(duì)更快速地交付結(jié)果。
得益于可輕松操作的控件，用戶可在切換對(duì)比度或照明時(shí)，雙手繼續(xù)操作顯微鏡，雙眼專注于樣品之上。
右手可輕松操控光強(qiáng)控制器
使用可變?nèi)梭w工學(xué)鏡筒和調(diào)焦旋鈕，根據(jù)不同身高調(diào)整顯微鏡
徠卡DM3 XL半導(dǎo)體行業(yè)專用材料顯微鏡
主要技術(shù)指標(biāo)
1、 主機(jī)：研究級(jí)正置式顯微鏡主機(jī)，全部原裝生產(chǎn)。
2、 光學(xué)系統(tǒng)：采用國際的HCS無限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng)，有效校正軸向和徑向色差，提供最清晰銳利的圖像。同時(shí)采用國際標(biāo)準(zhǔn)的45mm齊焦距離。
3、觀察方式：顯微鏡具備反射明場、暗場、斜射照明觀察方式，燈箱由主機(jī)直接供電，無外置電源。
4、 反射光路：具備不低于4位功能轉(zhuǎn)換模塊，支持明場，暗場，偏光和斜射照明等觀察方式。整體光路支持25mm視場。后期可升級(jí)微分干涉觀察方式等。
*5、 一鍵式斜射照明觀察模式：可快速從明場觀察轉(zhuǎn)換為斜射觀察模式，可對(duì)樣品表面微小起伏實(shí)現(xiàn)立體觀察,發(fā)現(xiàn)在其他觀察方式下難以觀察到的晶界和微小缺陷等結(jié)構(gòu)。
6、 放大倍數(shù)：50X~1000X（10倍標(biāo)準(zhǔn)目鏡下）
7、專業(yè)三目觀察鏡筒：高級(jí)三檔分光正相觀察筒，瞳距和觀察角度均可調(diào)。目鏡筒可實(shí)現(xiàn)100:0/50:50/0:100三檔分光，克服外部燈絲像對(duì)顯微圖像的影響。視場數(shù)不低于25；
8、目鏡：配置10X超寬視野目鏡，視場數(shù)不低于25mm，同時(shí)配置目鏡測微尺，目鏡屈光度可調(diào)節(jié)。
9、物鏡轉(zhuǎn)換器：不低于五孔高精度明暗場物鏡轉(zhuǎn)換器，保證五只物鏡同時(shí)安裝，每個(gè)物鏡孔孔徑不低于32mm，保證通光量。
10、物鏡：配置高精度高反差半復(fù)螢石明暗場物鏡5X、10X、20X、50X、100X五只，所有物鏡支持明場、暗場、偏光、斜射照明和DIC微分干涉等觀察方式，均為干鏡頭。物鏡孔徑不低于32mm，保證通光量。
*11、調(diào)焦機(jī)構(gòu)：至少具備粗、中、細(xì)三檔高精度調(diào)焦機(jī)構(gòu)，并且調(diào)焦手輪高度可調(diào)，以保證更為準(zhǔn)確快捷的調(diào)焦設(shè)置，同時(shí)適合不同手型大小和不同臂長的使用者。
12、高級(jí)機(jī)械載物臺(tái)：大型載物臺(tái)，可實(shí)現(xiàn)透反射觀察，XY同軸控制手柄，操作靈活。X/Y軸調(diào)節(jié)旋鈕松緊度（張力）可調(diào)。載物臺(tái)行程不低于150mm×150mm，另配備圓形晶圓臺(tái)（不得低于6寸）
13、光源：需采用研究級(jí)科勒照明LED高亮光源（亮度高于12V100W鹵素?zé)簦?，保證提供足夠照明，燈箱帶集光透鏡，保證照明光線方向性、增強(qiáng)照明均勻度，減少雜散光干擾。LED光源無發(fā)熱和閃爍，有效壽命3萬小時(shí)以上。透反射光源均要求主機(jī)直接供電，一鍵即可切換，不接受外置電源
*14、光闌調(diào)節(jié)：需配置CDA彩色編碼光闌輔助系統(tǒng)，可實(shí)現(xiàn)光闌大小調(diào)節(jié)直接與物鏡倍率相對(duì)應(yīng)，更準(zhǔn)確的控制景深，且提供對(duì)比度、襯度，減少人為粗略調(diào)節(jié)帶來的視域明暗差異、襯度差異。
*15、數(shù)碼攝像頭：采用顯微鏡廠家同品牌生產(chǎn)數(shù)碼攝像頭，1000萬有效物理像素
*15.1 不低于1000萬物理像素彩色高清（HD）攝像頭，具備靜態(tài)圖像采集和視頻錄制功能，靜態(tài)圖像物理分辨率為3648X2736(1000萬像素)，視頻片段分辨率為200萬像素。
*15.2. 獨(dú)立式操作：無需連接電腦即可進(jìn)行圖像采集和視頻錄制，所有操作通過無線遙控器實(shí)現(xiàn)。所采集的數(shù)據(jù)高速存儲(chǔ)在可取出的SD卡上。無線遙控器可設(shè)定所有攝像頭參數(shù)，只需一個(gè)按鍵即可捕捉和查看圖像或影像片段。
15.3. 快速實(shí)時(shí)圖像傳輸：可實(shí)現(xiàn)每秒30幀的全高清分辨率（1920 x1080）動(dòng)態(tài)實(shí)時(shí)圖像傳輸觀察，限度減少拖尾現(xiàn)象；具備HDMI高清接口，可進(jìn)行高清圖像及視頻傳輸；
16、圖象分析系統(tǒng)基本平臺(tái)（與顯微鏡同品牌原裝圖像采集系統(tǒng)，非國內(nèi)定制漢化軟件）：
16.1 用戶界面,工作流程導(dǎo)向用戶界面， 操作容易和符合人工學(xué)要求. 優(yōu)化的數(shù)據(jù)處理為快速采集圖象和大量數(shù)據(jù)集顯示,直觀的設(shè)定實(shí)驗(yàn)條件給快速設(shè)置和采集單色通道圖象
16.2 采圖,高速圖象采集.控制照相機(jī)性能如曝光, 增益, binning, 黑的, 白的和伽瑪值, 局部圖象采集.-圖象顯示和管理,大圖象視窗在采集中或后復(fù)覽顯示單通道, 多通道圖象.
16.3測量模塊：可進(jìn)行圖像二維尺寸的測量測量項(xiàng)目包含長度、角度、周長、面積和平均強(qiáng)度等；另外具備手動(dòng)活圖實(shí)時(shí)測量功能；
16.4 圖象拼接功能：具備圖像拼接功能，擴(kuò)展觀察視野面積；
17、電腦：Dell商務(wù)電腦一臺(tái)，市場主流配置，1T硬盤，4G內(nèi)存，1G獨(dú)顯，22寸液晶屏幕。
