PILLAR大流量波紋管泵PK系列
新型低脈動波紋管泵PRS系列，Spera™ 300 波紋管泵PS系列，Spera™ 波紋管泵PE系列，大流量波紋管泵PK系列，渣漿泵PC系列，計量泵PW系列，Spera™ 波紋管泵PE-E系列，自動累加器PA系列，波紋管泵專用控制器PB-12
PILLAR大流量波紋管泵PK系列
PILLAR大流量波紋管泵PK系列
新型低脈動波紋管泵PRS系列，Spera™ 300 波紋管泵PS系列，Spera™ 波紋管泵PE系列，大流量波紋管泵PK系列，渣漿泵PC系列，計量泵PW系列，Spera™ 波紋管泵PE-E系列，自動累加器PA系列，波紋管泵專用控制器PB-12
產(chǎn)品介紹
新型低脈動波紋管泵PRS系列
所有浸濕部件均由氟樹脂制成，使該泵具有高度耐化學(xué)性、耐熱性和清潔性。
操作機構(gòu)實現(xiàn)了更低的脈動。
液體溫度：15～100℃
最大吐出量：50L/min
供氣壓力：0.2～0.5MPaG
Spera™ 300 波紋管泵PS系列
所有接液部件均由氟樹脂制成，使該泵具有高度耐化學(xué)性、耐熱性和清潔性。
由于采用泵功能和蓄能功能一體化的結(jié)構(gòu)，只需一臺泵即可減少脈動。
Spera™ 波紋管泵PE系列
所有接液部件均由氟樹脂制成，使該泵具有高度耐化學(xué)性、耐熱性和清潔性。
通過安裝單獨的蓄能器可以減少脈動。
大流量波紋管泵PK系列
所有接液部件均由氟樹脂制成，使該泵具有高度耐化學(xué)性、耐熱性和清潔性。
該類型適用于大流量。
通過安裝單獨的蓄能器可以減少脈動。
渣漿泵PC系列
所有接液部件均由氟樹脂制成，使該泵具有高度耐化學(xué)性、耐熱性和清潔性。
該產(chǎn)品設(shè)計適合 CMP 工藝漿料應(yīng)用。
計量泵PW系列
所有浸濕部件均由氟樹脂制成，使該泵具有高度耐化學(xué)性、耐熱性和清潔性。
由于其重復(fù)性高，適用于需要定量性能的領(lǐng)域。
Spera™ 波紋管泵PE-E系列
所有接液部件均由氟樹脂制成，使該泵具有高度耐化學(xué)性、耐熱性和清潔性。
PE-E系列是緊湊型，占地面積小，有助于設(shè)備小型化。
自動累加器PA系列
這是一種自動減少波紋管泵脈動的裝置。
波紋管泵專用控制器PB-12
該控制器允許您啟動/停止波紋管泵運行、設(shè)置流量控制以及檢查運行狀態(tài)。
