在半導(dǎo)體和集成電路工藝中，材料、晶圓、芯片的測(cè)試是不可少的環(huán)節(jié)。數(shù)字源表SMU具備源測(cè)功能，可以產(chǎn)生電流-電壓(I-V)特性曲線，是半導(dǎo)體材料、器件電性能表征測(cè)量的核心。在測(cè)試時(shí)，通過(guò)數(shù)字源表提供激勵(lì)并對(duì)測(cè)量信號(hào)進(jìn)行采集，首先將電流或電壓輸入被測(cè)器件（DUT），測(cè)量該器件對(duì)此輸入信號(hào)的響應(yīng)；這些信號(hào)的路徑為：源表的輸出端接入電纜，電纜和探針連接，電流或電壓信號(hào)通過(guò)探針至芯片。晶圓/芯片微弱電流測(cè)試VI源表就找普賽斯儀表
S型數(shù)字源表應(yīng)用優(yōu)勢(shì)：
1、多功能測(cè)量需求下的廣泛的適應(yīng)性，電壓高達(dá)300V，電流低至30pA；
2、實(shí)現(xiàn)“源”的輸出和“表”的測(cè)量同步進(jìn)行，提高測(cè)試效率。
3、具備對(duì)測(cè)試器件的保護(hù)功能，可進(jìn)行自我限制，避免因過(guò)充而造成的對(duì)測(cè)試器件的損害；
精確的電壓電流限制功能，為器件提供完善的保護(hù)功能，避免器件損壞。
4、觸屏圖形化操作，使用簡(jiǎn)單。開(kāi)放式平臺(tái)，可根據(jù)實(shí)際應(yīng)用的需求而針對(duì)性的開(kāi)發(fā)軟件。
產(chǎn)品特點(diǎn)
5寸800*480觸摸顯示屏，全圖形化操作
內(nèi)置強(qiáng)大的功能軟件，加速用戶(hù)完成測(cè)試，如LIV、PIV
源及測(cè)量的準(zhǔn)確度為0.03%
四象限工作（源和肼），源及測(cè)量范圍：高至300V，低至3pA
豐富的掃描模式，支持線性掃描、指數(shù)掃描及用戶(hù)自定義掃描
支持USB存儲(chǔ)，一鍵導(dǎo)出測(cè)試報(bào)告
支持多種通訊方式，RS-232、GPIB及以太網(wǎng)
技術(shù)參數(shù)
Z大輸出功率：30W，4象限源或肼模式；
源限度-電壓源：±10V（≤3A量程），±30V（≤1A量程），±300V（≤100mA量程）；
源限度-電流源：±3A（≤10V量程），±1A（≤30V量程），±100mA（≤300V量程）；
過(guò)量程： 105%量程，源和測(cè)量；
穩(wěn)定負(fù)載電容：<22nF；
寬帶噪聲(20MHz)：2mV RMS（典型值），<20mV Vp-p（典型值）；
線纜保護(hù)電壓：輸出阻抗30KΩ，輸出電壓偏移<80mV；
最大采樣速率：S系列1000 S/s，SXXB系列32000S/s;
觸發(fā)：支持IO觸發(fā)輸入及輸出，觸發(fā)極性可配置；
輸出接口：前后面板香蕉頭插座輸出，同一時(shí)刻只能用前或者后面板接口；
通信口：RS-232、GPIB、以太網(wǎng)；
電源：AC 100~240V 50/60Hz；
工作環(huán)境：25±10℃；
尺寸：106mm高 × 255mm寬 ×425mm長(zhǎng)；
重量：5KG
質(zhì)保期：1年
S系列源表應(yīng)用
分立器件特性測(cè)試：電阻、二極管、發(fā)光二極管、齊納二極管、PIN二極管、BJT三極管、MOSFET、SiC、GaN等器件；
能量與效率特性測(cè)試：LED/AMOLED、太陽(yáng)能、電池、DC/DC轉(zhuǎn)換器；
傳感器特性測(cè)試：電阻率、霍爾效應(yīng)等；
有機(jī)材料特性測(cè)試：電子墨水、印刷電子技術(shù)等；
納米材料特性測(cè)試：石墨烯、納米線等；
激光器特性測(cè)試：窄脈沖LIV測(cè)試系統(tǒng)；
功率器件：靜態(tài)測(cè)試系統(tǒng)；
電流傳感器：動(dòng)靜態(tài)參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)；
晶圓/芯片微弱電流測(cè)試VI源表認(rèn)準(zhǔn)普賽斯儀表咨詢(xún)，普賽斯歷時(shí)多年打造了高精度、大動(dòng)態(tài)范圍、帥先國(guó)產(chǎn)化的源表系列產(chǎn)品，集電壓、電流的輸入輸出及測(cè)量等功能于一體?？勺鳛楠?dú)立的恒壓源或恒流源、伏特計(jì)、安培計(jì)和歐姆表，還可用作精密電子負(fù)載。其高性能架構(gòu)還允許將其用作脈沖發(fā)生器，波形發(fā)生器和自動(dòng)電流-電壓(I-V)特性分析系統(tǒng)，支持四象限工作。普賽斯“五合一”高精度數(shù)字源表（SMU）可為高?？蒲泄ぷ髡?、器件測(cè)試工程師及功率模塊設(shè)計(jì)工程師提供測(cè)量所需的工具。不論使用者對(duì)源表、電橋、曲線跟蹤儀、半導(dǎo)體參數(shù)分析儀或示波器是否熟悉，都能簡(jiǎn)單而迅速地得到精確的結(jié)果。
