產(chǎn)品關(guān)鍵詞：載流子遷移率測量系統(tǒng)/測試、電子遷移率測試、空穴遷移率測試、電子遷移率檢測、半導(dǎo)體測試儀、半導(dǎo)體參數(shù)分析儀、半導(dǎo)體器件參數(shù)測試儀、渡越時間測量、飛行時間測量儀、少數(shù)載流子壽命測試儀、載流子壽命測試儀器、遷移率壽命積測量、少數(shù)載流子測試、水平載流子測試儀、橫向載流子測試、載流子濃度測量儀、少子壽命測試儀
Key words: Carrier mobility Measurement system/Test, electron mobility test, Hole mobility Test, electron mobility test, semiconductor tester, semiconductor parameter analyzer, semiconductor device parameter tester, transit time measurement, time of Flight measurement, minority carrier life tester, carrier life testing instrument, Mobility lifetime product measurement, minority carrier test, Level Carrier tester, transverse carrier tester, carrier concentration tester, minority lifetime tester
于2012年為行業(yè)提供搭建式系統(tǒng)，并于2019年全新推出的業(yè)內(nèi)新款自動化、集成化的飛行時間法遷移率測量商業(yè)化設(shè)備。
產(chǎn)品簡介
FlyTOF飛行時間法遷移率測量儀是東譜科技HiTran瞬態(tài)綜合光電特性測量平臺中的重要成員。該系統(tǒng)利用飛行時間法（time-of-flight，TOF）測量半導(dǎo)體材料的遷移率以及相關(guān)的光電特性，廣泛適用于各類半導(dǎo)體材料，如硅基半導(dǎo)體、第二代半導(dǎo)體、第三代寬帶隙半導(dǎo)體、有機半導(dǎo)體、鈣鈦礦半導(dǎo)體、量子點半導(dǎo)體、二維材料半導(dǎo)體、金屬-有機框架（MOF）、共價有機框架（COF）等。FlyTOF基于我司的MagicBox主機研制而成，配備便捷的上位機控制和數(shù)據(jù)測量軟件，可助力客戶進(jìn)行快速、準(zhǔn)確的測量。FlyTOF是東譜科技源頭研發(fā)產(chǎn)品，是業(yè)內(nèi)新款自動化、集成化的飛行時間法遷移率測試商業(yè)化設(shè)備。
遷移特性是半導(dǎo)體基礎(chǔ)的性質(zhì)之一，是半導(dǎo)體在電子學(xué)和光電子學(xué)等領(lǐng)域進(jìn)行應(yīng)用的基礎(chǔ)。半導(dǎo)體的遷移率定義為單位電場下載流子的平均漂移速度。TOF遷移率測試方法直接由遷移率的定義發(fā)展而來。 相比于一些間接的遷移率測試方法，如空間電荷限制電流（SCLC）法等，TOF的方法被認(rèn)為是接近“真實”遷移率的一種測量方法。通過TOF瞬態(tài)光電流信號的分析，可以得到電子遷移率、空穴遷移率等參數(shù)；用戶還可以利用這些數(shù)據(jù)，結(jié)合材料的物理模型進(jìn)行分析，得到雜質(zhì)濃度、缺陷、能帶混亂度、電荷跳躍距離等參數(shù)。
作為TOF遷移率測試方法商業(yè)化應(yīng)用的先行，東譜科技已攜手客戶廣泛探索了FlyTOF在有機半導(dǎo)體、硅基半導(dǎo)體、鈣鈦礦半導(dǎo)體、二維材料、共價有機框架等領(lǐng)域的應(yīng)用。東譜期待與您共同開拓FlyTOF更多的應(yīng)用領(lǐng)域。
產(chǎn)品特點
□ 載流子遷移率測量值覆蓋10^-9~10^6 cm^2/(V.s)
□ 專業(yè)的信號調(diào)教，電磁兼容噪聲小
□ 行業(yè)優(yōu)異的TOF測試功能
□ 軟件自動控制，測試快速便捷
□ 快速換樣裝置，惰性氣體氛圍測試
□ 可實現(xiàn)寬溫度范圍的變溫測試（選配）
□ 可通過可視化系統(tǒng)看到光斑照射情況
□ 可靈活耦合各種類型的激發(fā)光源
產(chǎn)品功能
□ 飛行時間法瞬態(tài)光電流測量
□ 半導(dǎo)體材料電子遷移率測量
□ 半導(dǎo)體材料空穴遷移率測量
□ 載流子濃度測量
□ 載流子壽命測量
□ 可選變溫測量
□ 可選Lateral-TOF測試功能及附件
□ 可選配TOF二維掃描（mapping）功能及附件
功能說明：
標(biāo)配TOF：縱向TOF；
Mapping功能：可以對TOF的信號進(jìn)行二維平面的成像；
Lateral-TOF功能：可以以水平的方式對樣品的遷移率進(jìn)行測試。
產(chǎn)品應(yīng)用
| □ 有機半導(dǎo)體 | □ 量子點半導(dǎo)體 | □ 元素半導(dǎo)體（Si、Ge等） | □ 金屬-有機框架（MOF） | □ 二維材料 |
| □ 寬帶隙第三代半導(dǎo)體 | □ 鈣鈦礦材料 | □ 化合物半導(dǎo)體（InGaAs等） | □ 共價有機框（COF） | □ 其它半導(dǎo)體材料 |
規(guī)格型號
| 規(guī)格配置 | 高性能版（E300） | 標(biāo)配版（S300） | 經(jīng)濟版（W300） |
| TOF標(biāo)配功能 | √ | √ | √ |
| Mapping模塊 | 可選 | 可選 | × |
| Lateral-TOF | 可選 | 可選 | × |
* Lateral-TOF： □ 包含顯微系統(tǒng)、探針系統(tǒng)、針對Lateral-TOF的光路及電子部件系統(tǒng)等，具有非標(biāo)性質(zhì)，詳情請與銷售專員聯(lián)系。 * 可選配置/部件： □ 337nm 納秒氣體激光器； □ 532nm納秒調(diào)Q固體激光器； □ 355 nm納秒調(diào)Q固體激光器； □ Nd:YAG激光器 1064 nm、532 nm、355 nm、266 nm； □ 可調(diào)諧 OPO 激光器，波長范圍：210-2400 nm。 | |||
測試樣例
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