平面度和應(yīng)力測試儀可非接觸式測量各種反射硅片和玻璃表面平面度、波紋度和薄膜應(yīng)力,廣泛用于晶圓硅片、反射鏡、金屬表面或拋光聚合物。
平面度和應(yīng)力測試儀的光學(xué)測量原理確保了高精度。它是基于對垂直入射激光束沿恒定步長線的反射角的測量。表面形狀可以根據(jù)測量點之間反射角的變化來精確計算。
平面度和應(yīng)力測試儀可測量半導(dǎo)體行業(yè)鍍膜的薄膜應(yīng)力,薄膜應(yīng)力可以通過涂層前后測量的半徑來計算。
平面度和應(yīng)力測試儀特點
標(biāo)準(zhǔn)測量面積為200mm，*大的測量面積可訂做而不會降低精度
測量精度高,分辨率為0.1弧秒，表面形狀再現(xiàn)性達(dá)到100nm
測量工作距離大，測量范圍大，適用于測量具有強(qiáng)曲率的表面，如goebel反射鏡、硅片或其他表面。所使用的光學(xué)測量原理與工作距離無關(guān)，并確保了較高的工作距離，因此沒有損壞樣品的危險。
可選2D或3D測量
軟件模塊支持測量涂層或薄膜應(yīng)力,用于通過?？怂估碚撚嬎惚∧?yīng)力,根據(jù)涂覆過程前后的平均曲率半徑計算。
平面度和應(yīng)力測試儀技術(shù)規(guī)格
表面曲率（P-V）再現(xiàn)精度：≤100 nm**
光學(xué)測量系統(tǒng)的分辨率：0.1弧秒
光學(xué)測量系統(tǒng)的精度：1弧秒
測量速度：10mm~30mm/秒
測量場:標(biāo)準(zhǔn)：ø200毫米*（可以在沒有問題的情況下進(jìn)行大范圍操作）
試樣厚度:不受限制
***小曲率半徑和根據(jù)掃描長度的箭頭高度:
200mm：R=18 m 290µm，300mm：R=25 m 435µm，500mm：R=43 m 725µm
自由工作距離: 不受限制
測量波長: 標(biāo)準(zhǔn)：670nm*
自動測量