雖然從微小的異物得到的信號量不隨照射異物的X射線束流大小而改變,但是從底材得到信號隨著束流的減小而減小,相對來說,從異物得到的信號跟底材的比增強(qiáng)。于是,微小的X射線束流在進(jìn)行微小的異物和樣品時,發(fā)揮著重要的作用。
利用多彩的掃描方法,自動的測量樣品的表面,簡單明了的表示出2維或者3維的元素分布,膜厚組成分布等的成像。
通過光亮的照明和倍率切換,可以得到擴(kuò)大90倍的畫像,可以清楚的觀察到微小的部分,通過鼠標(biāo)和操縱桿,可以自由自在的移動樣品,利用標(biāo)有準(zhǔn)直器尺寸的十字線,來不斷的確認(rèn)和調(diào)整需要分析部分的位置。
通過電鍍部分和材質(zhì)的能諳對比,確認(rèn)曲線重合部分的元素的同時,正確的設(shè)定測量條件。
分析測量結(jié)束后,點(diǎn)擊輸出報告的按鍵,便自動的啟動報告編輯軟件。自動的表示出測量條件,樣品圖像,能譜,X射線強(qiáng)度,分析數(shù)據(jù)等。以此為基礎(chǔ)進(jìn)行編輯,可以簡單的完成數(shù)據(jù)詳細(xì)、具有說服力的分析報告。