具有成像能力的人體工學設計顯微鏡
MX63和MX63L顯微鏡系統(tǒng)支持檢測尺寸達300毫米的晶圓、平板顯示器、印刷電路板以及其他樣品的質(zhì)量。這些符合人體工學設計的人性化系統(tǒng)采用模塊化設計，可在各種應用中實現(xiàn)更佳觀察條件。結合奧林巴斯Stream圖像分析軟件使用
時，從觀察到生成報告的整個檢測流程更簡潔直觀。
滿足電子行業(yè)需求
功能性
為滿足電子行業(yè)的人體工學和安全性要求而設計的附加功能以增強分析能力。
人性化
簡潔的顯微鏡設置使用戶調(diào)整和再調(diào)用系統(tǒng)配置變得更為輕松。
的成像技術
我們成熟可靠的光學器件和優(yōu)良的成像技術可獲得清晰圖像，并完成可靠檢測。
模塊化
用戶可通過選擇適合其應用的模塊進行系統(tǒng)定制。
功能
的分析工具
MX63系列的各種觀察功能可生成清晰的圖像，讓用戶能夠?qū)悠愤M行可靠的缺陷檢測。全新照明技術以及奧林巴斯Stream圖像分析軟件的圖像采集選項為用戶評估樣品和存檔檢測結果提供更多選擇。
從不可見到可見： MIX觀察與采集
通過暗場與明場、熒光或偏光等其他觀察方法結合使用， MIX觀察技術能夠獲得特殊的觀察圖像。 MIX觀察技術可讓用戶發(fā)現(xiàn)用傳統(tǒng)顯微鏡難以觀察的缺陷。暗場觀察所用的環(huán)形LED照明器具有可四象限分段照明的定向暗場功能。該功能可減少樣品光暈，有助于觀察樣品的表面紋理。
支持潔凈室合規(guī)性的設計
MX63系列專為潔凈室工作而設計，并有效降低樣品污染或受損的風險。該系統(tǒng)采用人體工學設計，可幫助用戶在長時間使用中保持舒適。 MX63系列符合SEMI S2/S8、 CE和UL等多項國際規(guī)范及標準要求。
人性化
直觀的顯微鏡控制：舒適且使用方便
顯微鏡設置操作簡單，讓用戶調(diào)整和再調(diào)用系統(tǒng)配置更加輕松。
成像技術
為質(zhì)量檢驗提供精細的光學性能和數(shù)碼成像技術
奧林巴斯研發(fā)高質(zhì)量光學器件和數(shù)碼成像技術的悠久歷史成就了具有測量精度的一系列可靠光學器件和顯微鏡。
應用
反射光顯微鏡在很多應用和行業(yè)中普遍應用。以下是采用不同的觀察方法所達到的一些效果示例。
模塊化
全面可定制
MX63系列設計用于讓用戶能夠選擇各種光學器件滿足其特定的檢測和應用需求。該系統(tǒng)可使用所有觀察方法。
用戶還可從一系列的奧林巴斯Stream圖像分析軟件包中進行選擇，以滿足其特定的圖像采集和分析需求。
兩個系統(tǒng)兼容多種樣品規(guī)格
MX63系統(tǒng)能夠檢測尺寸達200毫米的晶圓，而MX63L可檢測300毫米的晶圓，兩款具有相同的較小占用空間。 MX63系列的模塊化設計可輕松地根據(jù)您的特定需求定制顯微鏡。
