TwisTorr 74 FS
安捷倫 70 L/s 渦輪分子泵 TwisTorr 74 FS 將 TiwsTorr 拖動(dòng)級(jí)技術(shù)和安捷倫懸浮軸承技術(shù)相結(jié)合，具有高性能、高可靠性及經(jīng)濟(jì)性。這款 70 L/s 渦輪分子泵借助渦輪增壓技術(shù)與創(chuàng)新的 TwisTorr 拖動(dòng)級(jí)技術(shù)之間的協(xié)同作用，可提供高真空性能。懸浮軸承確保低振動(dòng)和低噪音，適用于高靈敏度儀器和工作環(huán)境。
這款小型渦輪泵適用于多種應(yīng)用，包括研發(fā)、UHV 系統(tǒng)、核研究和電子顯微鏡。
TwisTorr 74 FS 可提供一體式控制器或機(jī)架控制器。
技術(shù)規(guī)格
| 技術(shù)規(guī)格 | ||||
| 抽速 | KF40 | CFF 2.75" | ISO 63 | CFF 4.5" |
| N2 He H2 Ar | 44 L/s 33 L/s 28 L/s 40 L/s | 50 L/s 40 L/s 31 L/s 51 L/s | 60 L/s 54 L/s 42 L/s 59 L/s | 60 L/s 54 L/s 42 L/s 59 L/s |
| 氣體通量 (*) | 風(fēng)冷 （環(huán)境溫度 35 °C） | 水冷 （水溫 25 °C/環(huán)境溫度 35 °C） | ||
| N2 | 130 sccm | 130 sccm | ||
| Ar | 80 sccm | 80 sccm | ||
| (*) 前級(jí)泵 5 m3/h | ||||
| 壓縮比與前級(jí)耐壓 (**) | ||||
| N2 He H2 Ar | 1.0 × 109 2.0 × 105 1.0 × 104 > 1.0 × 109 | > 12 mbar > 10 mbar > 04 mbar > 14 mbar | ||
| (**) 前級(jí)耐壓是指渦輪分子泵仍能產(chǎn)生 100 壓縮比的壓力，該壓力在水冷模式下估算得出 | ||||
| 極限真空（使用推薦的前級(jí)泵） | < 5 × 10-10 mbar < 3.75 × 10-10 Torr) | |||
| 抽氣口法蘭 | KF 40、ISO 63、CFF 4.5”、CFF 2.75” | |||
| 前級(jí)管道法蘭 | KF 16 NW | |||
| 轉(zhuǎn)速 | 70000 rpm（1167 Hz 驅(qū)動(dòng)頻率） | |||
| 啟動(dòng)時(shí)間 | < 2 分鐘 | |||
| 推薦的前級(jí)泵 | Agilent DS 40M/DS 102 旋片泵 Agilent IDP-3/IDP-7 渦旋式干泵 | |||
| 操作位置 | 任意位置 | |||
| 操作環(huán)境溫度 | +5 °C 至 +35 °C | |||
| 空氣相對(duì)濕度 | 0%–90%（無(wú)冷凝） | |||
| 烘烤溫度 | 在入口法蘭處，ISO 為 80 °C（CFF 為 120 °C） | |||
| 潤(rùn)滑油 | 性潤(rùn)滑 | |||
| 冷卻要求 | ||||
| 風(fēng)冷 | 加壓空氣冷卻（環(huán)境溫度 5–35 °C） 氣流溫度 +5° C 至 +35 °C | |||
| 水冷 | 水溫 +15 °C 至 +25 °C 水流速 65 L/h | |||
| 噪聲聲壓級(jí)（全速運(yùn)行時(shí)距離 1 m 處） | 40 dB(A) | |||
| 儲(chǔ)存溫度 | -40 °C 至 +70 °C | |||
| 海拔 | 3000 m | |||
| 重量 kg（磅） | ISO 63 CFF 4.5” CFF 2.75” KF 40 | 2.05 (4.50) 3.50 (7.70) 3.34 (7.35) 2.37 (5.22) | ||
| 規(guī)范符合性 | ||||
| CE、C-CSA-US、RoHS 符合 2011/65/UE 要求 | ||||
* 平均值 ± 4 dB(A) 標(biāo)準(zhǔn)差
