日本COSMOS新宇宙PS-7多種氣體檢測(cè)器PS-7-M半導(dǎo)體材料氣體檢測(cè)儀
產(chǎn)品主機(jī)選型
PS-7:模擬傳送方式、DeviceNet(設(shè)備網(wǎng)絡(luò)）搭載方式；
PS-7-M:Ethernet PoE、Ethernet Modbus TCP/IP、RS-485
氣體/傳感器單元選型
PF3，CDS-7，10ppm； SiH4，5/25ppm； PH3，1ppm； B2H6，500ppb； AsH3，250ppb；
H2，CHS-7，500/1000ppm，熱線型半導(dǎo)體式； H2Se，250ppb； Si2H6，25ppm；
O2，COS-7，25vol%，伽代尼電池式； GeH4，1ppm； NH3，100ppm； SiH2CL2，25ppm；
NF3，100ppm，定電位電解式(用于轉(zhuǎn)換器單元)； H2S，50ppm； CO，250ppm；
CCl4，100ppm，定電位電解式(用于轉(zhuǎn)換器單元)； CL2，5ppm； CLF3，1ppm；
HF，10ppm，定電位電解式； F2，5ppm； 鹽酸，5/25ppm； 氫溴酸，10ppm； O3，1ppm；
技術(shù)參數(shù)：
檢測(cè)對(duì)象氣體：更換傳感器，能夠檢測(cè)各種氣體
檢測(cè)方式：自動(dòng)吸引式
檢測(cè)原理：定電位電解式/熱線型半導(dǎo)體式/隔膜伽伐尼電池式、熱分解+定電位電解式
類型:標(biāo)準(zhǔn)型或附帶轉(zhuǎn)換器組件型
檢測(cè)范圍：根據(jù)規(guī)格而定；
采樣配管：特氟隆外徑6內(nèi)徑4mm，配管距離在20m以內(nèi)
氣體濃度顯示：液晶數(shù)字四位顯示（附帶單位）20分割條形圖
報(bào)警接點(diǎn)：氣體報(bào)警（紅色液晶指示燈閃爍，液晶畫面，1段ALARM1，2段ALARM1、ALARM2顯示）；
流量降低報(bào)警（堵塞顯示流量為低速運(yùn)轉(zhuǎn)，黃色LED指示燈閃爍，液晶畫面FLOW及流量顯示為停止運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)）；
傳感器故障報(bào)警/傳感器誤插入報(bào)警（黃色LED指示燈閃爍，液晶畫面SENS顯示）；
熱分解爐斷線報(bào)警帶有轉(zhuǎn)換器單元（黃色LED指示燈閃爍，液晶畫面CONV顯示,）
連接方式：PS-7:模擬傳送方式、DeviceNet(設(shè)備網(wǎng)絡(luò)）搭載方式、
PS-7-M:Ethernet PoE、Ethernet Modbus TCP/IP、RS-485
外部輸出:氣體濃度模擬輸出DC4～20mA(與電源的負(fù)極通用）
氣體報(bào)警接點(diǎn)（1段以及2段）1a無電壓接點(diǎn)/自動(dòng)復(fù)位
故障報(bào)警接點(diǎn)（開路集電極/自動(dòng)復(fù)位）
適用電纜線：控制用屏蔽電纜線直徑8～11mm 3芯或者4芯
使用溫濕度范圍：0～+40℃，30～85%RH（無結(jié)露現(xiàn)象）
電源：DC24V±10%
消耗電力：約7W
外形尺寸：W62xH124xD143mm（突出部分除外）
重量：約1.0kg
安裝方法：壁掛式
產(chǎn)品說明：
PS-7是一款通過更換傳感器單元可以檢測(cè)多種氣體，可通過PDA讀取數(shù)據(jù)。通過更換傳感器就可以檢測(cè)多種氣體的半導(dǎo)體材料氣體檢測(cè)器；傳感器經(jīng)過校準(zhǔn)和交付，無需現(xiàn)場(chǎng)氣體校準(zhǔn)。此外，無需工具即可輕松更換傳感器；小巧·輕便的設(shè)計(jì)；通過LCD顯示屏輕松了解氣體濃度，報(bào)警狀態(tài)和錯(cuò)誤信息；采樣流量的自動(dòng)控制功能；當(dāng)插入與設(shè)置不同的傳感器時(shí)，傳感器具有防止錯(cuò)誤插入的功能；通過連接PDA，可以獲取存儲(chǔ)在檢測(cè)單元中的數(shù)據(jù)；轉(zhuǎn)換器單元（選件）可用于檢測(cè)NF3和CCl2；符合CE標(biāo)準(zhǔn)；符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)。產(chǎn)品用于石油化工、半導(dǎo)體制造等。
備注說明：
1.推薦使用特氟龍。但是如果是吸附性較強(qiáng)的氣體時(shí)，根據(jù)使用情況的不同也將有所差異，因此，請(qǐng)向本公司進(jìn)行咨詢。產(chǎn)品有可能改進(jìn)而對(duì)上述規(guī)格進(jìn)行修改，對(duì)此恕不預(yù)先通知用戶。
2.于附帶轉(zhuǎn)換器件的產(chǎn)品。
