型號：新宇宙式特氣檢測部 PS-7（半導體工廠用）
特性：專為半導體行業(yè)定制，傳感器自由更換，維護方便
檢測對象：半導體材料氣體
檢測方式：
特點： 帶有氣體采樣流量自動控制功能
LCD顯示，現(xiàn)場狀態(tài)一目了然
實現(xiàn)小型、輕量化
可簡單地更換傳感器和采樣氣路
帶有防止傳感器單元錯誤插入的功能
可以設(shè)定多樣的維護模式
組合對應(yīng)熱分解單元與定電位電解式傳感器，能檢測NF3等
實現(xiàn)了用PDA讀取數(shù)據(jù)
符合CE規(guī)格，SEMI規(guī)格
日本新宇宙COSMOS PS-7在線式氣體監(jiān)測儀
型號 | PS-7 |
標準型 | 附帶轉(zhuǎn)換器組件型 |
檢測原理 | •定電位電解式、熱絲型半導體式、隔膜電流電池式 •熱分解+定電位電解式 |
采樣方式 | 泵吸引式（0.5L/min吸引流量 自動控制） |
采樣配管 | 特氟隆外徑6內(nèi)徑4mm、配管距離在20m以內(nèi) |
氣體濃度顯示 | 液晶數(shù)字四位顯示（附帶單位）20分割條形圖 |
報警接點 | •氣體報警（1段以及二級） 報警、紅色液晶指示燈閃爍、液晶畫面 第1段 ALARM1 第1段 ALARM1 ALARM2顯示 •流量降低報警 堵塞指示顯示：流量顯示為低速運轉(zhuǎn) 報警：黃色LED指示燈閃爍 ：液晶畫面 FLOW顯示以及流量顯示為停止運轉(zhuǎn)狀態(tài) •傳感器故障報警/傳感器誤插入報警 報警：黃色LED指示燈閃爍 ：液晶畫面 SENS.顯示 •熱分解爐斷線報警 報警：黃色LED指示燈閃爍 ：液晶畫面 CONV.顯示 |
外部輸出 | 氣體濃度模擬輸出 DC4~20mA（與電源的負極通用） 氣體報警接點（1段以及兩極） 1a無電壓接點/自動復位 故障報警接點 （開路集電極/自動復位） |
適合電纜線 | 控制用屏幕電纜線（Φ8~11mm）x2 3芯或者4芯 使用溫度濕度范圍 0℃~40℃（但是不能有劇烈的溫度變化）、30~85%RH（但不能結(jié)露） |
使用電源 | DC24V±10% |
消耗電力 | 約7w |
尺寸 | •W62xH124xD143mm(除去突起物) •W62xH124xD143mm(除去選購件和突起物) |
重量 | 約1.0kg |
安裝方法 | 壁掛式 |
