萊寶真空生產(chǎn)的渦輪分子泵能夠獲得潔凈的高真空和超高真空，具有操作簡(jiǎn)單，可靠性高等特點(diǎn)。與性能良好的前級(jí)泵組合后，可以實(shí)現(xiàn)低于10-10mbar(0.75 x 10-10 Torr)的壓力。
萊寶真空是世界上渦輪分子泵之一。TURBOVAC 和 TURBOVAC MAG分子泵成功應(yīng)用于許多場(chǎng)合。
工作原理
渦輪分子泵轉(zhuǎn)子是一個(gè)帶葉片的渦輪，快速旋轉(zhuǎn)的葉片將動(dòng)量傳輸給氣體分子，將起初無(wú)方向性的熱運(yùn)動(dòng)變成有定向運(yùn)動(dòng)。
渦輪分子泵的抽氣過(guò)程就是使氣體分子從進(jìn)氣口法蘭定向運(yùn)動(dòng)到前級(jí)真空口。
在分子流范圍——也就是在低于10-3mbar(0.75 x 10-3 Torr)的壓強(qiáng)時(shí)，氣體分子的平均自由行程大于轉(zhuǎn)子與定子葉片之間的間距(典型為十分之零點(diǎn)幾毫米)，分子主要與轉(zhuǎn)子葉片碰撞，所以
抽氣過(guò)程非常高效。
在粘滯流范圍，也就是壓強(qiáng)超過(guò)10-1mbar(0.75 x 10-1 Torr)，情況則不同，分子間的頻繁碰撞降低了轉(zhuǎn)子的效率。因此，渦輪分子泵無(wú)法在大氣壓下工作，需要適當(dāng)抽速的前級(jí)真空泵。
為了使氣體分子產(chǎn)生定向運(yùn)動(dòng)，轉(zhuǎn)子葉片的末端的線速度必須足夠大。所以，轉(zhuǎn)子也要有相應(yīng)的高轉(zhuǎn)速。對(duì)于萊寶真空的渦輪分子泵而言，較大直徑轉(zhuǎn)子（例如 TURBOVAC 1000 ，大約20cm(7.87in.)）的轉(zhuǎn)速大約為36000rpm，而較小直徑轉(zhuǎn)子（例如TURBOVAC50，大約6cm(2.36in.)）的轉(zhuǎn)速為72000rpm。
分子泵設(shè)計(jì)理念
萊寶真空針對(duì)不同應(yīng)用提供基于不同軸承和轉(zhuǎn)子技術(shù)的渦輪分子泵。如TURBOVAC系列機(jī)械軸承標(biāo)準(zhǔn)分子泵；TURBOVAC MAG系列磁懸浮軸承分子泵；TURBOVAC i/iX系列半磁浮分子泵（半磁浮分子泵僅在排氣端配置脂潤(rùn)滑軸承，高真空端配置免維護(hù)的永磁軸承）。萊寶真空的分子泵均不采用油潤(rùn)滑軸承可以從理論上避免分子泵對(duì)腔體產(chǎn)生碳?xì)浠衔镂廴静⑶冶ＷC所有分子泵均可以任意角度安裝。
萊寶TURBOVAC i 分子泵剖面圖
TURBOVAC i/iX系列
TURBOVAC i/iX系列分子泵是萊寶真空采用全新的設(shè)計(jì)理念研發(fā)的全新一代分子泵。該系列產(chǎn)品為客戶提供真空的性能和較高的系統(tǒng)集成度。
TURBOVAC i/iX系列分子泵創(chuàng)新的軸承設(shè)計(jì)地克服了分子泵軸承設(shè)計(jì)的瓶頸，同時(shí)滿足了軸承無(wú)油和現(xiàn)場(chǎng)更換這兩大設(shè)計(jì)難點(diǎn)，實(shí)現(xiàn)了一代的技術(shù)水平。
TURBOVAC i/iX系列分子泵適合分析儀器、科研和普通工業(yè)應(yīng)用
TURBOVAC產(chǎn)品線的優(yōu)勢(shì)是：
- 無(wú)油，可以實(shí)現(xiàn)清潔的高真空和超高真空條件
- 運(yùn)行高度可靠
- 耐輻射
- 設(shè)計(jì)緊湊
TURBOVAC i/iX產(chǎn)品線的優(yōu)勢(shì)是：
- 款無(wú)油半磁浮分子泵
- 模塊化設(shè)計(jì)
- 抽速大，壓比高
- 免維護(hù)
- 清潔無(wú)油
陶瓷滾珠軸承技術(shù)
所有的TURBOVAC泵都使用陶瓷滾珠軸承，軸承終生脂潤(rùn)滑。
陶瓷滾珠較鋼滾珠更輕、更硬和更光滑。因此，使用陶瓷滾珠，座圈的磨損明顯降低。延長(zhǎng)軸承和分子泵的壽命延長(zhǎng)。
裝有脂潤(rùn)滑的陶瓷滾珠軸承TURBOVAC泵可以任意方向安裝。由于滾珠軸承采用封裝工藝，所以即使分子倒置安裝，油脂也不可能進(jìn)入高真空區(qū)域。
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TURBOVAC i/iX產(chǎn)品線的優(yōu)勢(shì)是：
- 款無(wú)油半磁浮分子泵
- 模塊化設(shè)計(jì)
- 抽速大，壓比高
- 免維護(hù)
- 清潔無(wú)油
陶瓷滾珠軸承技術(shù)
所有的TURBOVAC泵都使用陶瓷滾珠軸承，軸承終生脂潤(rùn)滑。陶瓷滾珠較鋼滾珠更輕、更硬和更光滑。因此，使用陶瓷滾珠，座圈的磨損明顯降低。延長(zhǎng)軸承和分子泵的壽命延長(zhǎng)。裝有脂潤(rùn)滑的陶瓷滾珠軸TURBOVAC
泵可以任意方向安裝。由于滾珠軸承采用封裝工藝，所以即使分子倒置安裝，油脂也不可能進(jìn)入高真空區(qū)域。
技術(shù)特點(diǎn)
TURBOVAC i
- 集成變頻器，24/48V DC 電源供電
- 切削成型轉(zhuǎn)子和全新復(fù)合級(jí)設(shè)計(jì)使分
子泵具有超佳性能和較大抽速，對(duì)輕
質(zhì)氣體尤為突出
- 任意方向安裝
- 的可靠性源于創(chuàng)新的軸承設(shè)計(jì)理
念
- 設(shè)計(jì)靈活，適應(yīng)性強(qiáng)
- 市場(chǎng)上一款無(wú)油半磁浮分子泵
- 現(xiàn)場(chǎng)維護(hù)（更換軸承），維修成本低，
時(shí)間短
- 通訊接口齊全（標(biāo)配USB，RS485和
15針數(shù)字I/O）
TURBOVAC iX
- 集成真空系統(tǒng)控制器配置靈活的通訊
接口和附件控制接口（用于控制冷卻
單元，閥門(mén)，規(guī)管和前級(jí)泵等）
- 附件齊全，即插即用
- 適應(yīng)性強(qiáng)，適合各類(lèi)真空工藝
TURBOVAC T i, T iX
- 標(biāo)準(zhǔn)分子泵（不含復(fù)合級(jí)）
- 帶氣載能力強(qiáng)
- 耐粉塵
- 啟動(dòng)時(shí)間短
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典型應(yīng)用
- 分析儀器/科研
- 質(zhì)譜儀
- 電子顯微鏡
- 表面分析儀
- 加速器和同步加速器
- X射線分析儀
- 實(shí)驗(yàn)室鍍膜系統(tǒng)
- MBE
- 超高真空系統(tǒng)
- 生命科學(xué)
- 放射醫(yī)療
- 伽馬射線滅菌
- 高品質(zhì)植入物生產(chǎn)
- 工業(yè)和鍍膜應(yīng)用
- PVD鍍膜設(shè)備
- 光學(xué)鍍膜設(shè)備
- CD/DVD/藍(lán)光光碟生產(chǎn)
- 薄膜太陽(yáng)能
- 進(jìn)樣室/轉(zhuǎn)移室/傳輸室
- 電子束焊機(jī)
- 檢漏/真空絕熱
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技術(shù)參數(shù) TURBOVAC
350i/ix 450i/ix T350i/ix T450i/ix
進(jìn)氣口法蘭 | DN | 100 ISO-K | 160 ISO-K | 100 ISO-K | 160 ISO-K |
100 CF | 160 CF | 100 CF | 160 CF | ||
前級(jí)法蘭 | DN | 25 ISO-KF | 25 ISO-KF | 25 ISO-KF | 25 ISO-KF |
抽速 | |||||
N2 | I x s-1 | 290 | 430 | 290 | 430 |
Ar | I x s-1 | 260 | 400 | 260 | 400 |
He | I x s-1 | 360 | 440 | 360 | 440 |
H2 | I x s-1 | 350 | 420 | 320 | 400 |
氣載量 | |||||
N2 | mbar x I x s-1 | 4 5 | 4 5 | 11 5 | 11 5 |
Ar | mbar x I x s-1 | 2 0 | 2 0 | 6 0 | 6 0 |
He | mbar x I x s-1 | 8 0 | 8 0 | 20 0 | 20 0 |
H2 | mbar x I x s-1 | 8 0 | 8 0 | 20 0 | 20 0 |
壓縮比 | |||||
N2 | 1 x 1011 | 1 x 1011 | 1 x 1010 | 1 x 1010 | |
Ar | 1 x 1011 | 1 x 1011 | 1 x 1011 | 1 x 1011 | |
He | 1 x 108 | 1 x 108 | 1 x 106 | 1 x 106 | |
H2 | 1 x 106 | 1 x 106 | 1 x 104 | 1 x 104 | |
極限壓強(qiáng) | |||||
(雙級(jí)旋片泵做前級(jí)) | |||||
ISO-K / CF | mbar | < 10-8 / < 10-10 | < 10-8 / < 10-10 | < 10-8 / < 10-10 | < 10-8 / < 10-10 |
前級(jí)耐壓 | |||||
N2 | mbar (Torr) | 10 0 (7 5) | 10 0 (7 5) | 0 5 (0 375) | 0 5 (0 375) |
推薦的前級(jí)泵 | |||||
TRIVAC | D 4 B | D 4 B | D 16 B | D 16 B | |
SCROLLVAC | SC 5 D / 15 D | SC 5 D / 15 D | SC 15 D / 30 D | SC 15 D / 30 D | |
DIVAC | 3 8 HV3 | 3 8 HV3 | – | – | |
轉(zhuǎn)速 | min-1 (rpm) | 60 000 | 60 000 | 60 000 | 60 000 |
轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)范圍 | % | 50 至 100 | 50 至 100 | 50 至 100 | 50 至100 |
加速時(shí)間約 | min | 5 5 | 5 5 | 3 5 | 3 5 |
環(huán)境溫度要求 | |||||
運(yùn)行 | °C | +5 至 +45 | +5 至 +45 | +5 至 +45 | +5 至 +45 |
(°F) | (+41 至 +113) | (+41 至 +113) | (+41 至 +113) | (+41 至 +113) | |
儲(chǔ)存 | °C | -15 至 -70 | -15 至 -70 | -15 至 -70 | -15 至 -70 |
(°F) | (+5 至 -94) | (+5 至 -94) | (+5 至 -94) | (+5 至 -94) | |
冷卻方式 | |||||
標(biāo)配 | 對(duì)流 | 對(duì)流 | 對(duì)流 | 對(duì)流 | |
可選 | 風(fēng)冷或水冷 | 風(fēng)冷或水冷 | 風(fēng)冷或水冷 | 風(fēng)冷或水冷 | |
水冷接口 | |||||
6 x 1軟管接頭 | 6 x 1軟管接頭 | 6 x 1軟管接頭 | 6 x 1軟管接頭 | ||
或1/8”管螺紋 | 或1/8”管螺紋 | 或1/8”管螺紋 | 或1/8”管螺紋 | ||
冷卻水流量 | l/h | 50 至 100 | 50 至 100 | 50 至 100 | 50 至 100 |
冷卻水壓力要求(g) | 3 至 6 | 3 至 6 | 3 至 6 | 3 至 6 | |
冷卻水溫度要求 | °C | +15 至 +35 | +15 至 +35 | +15 至 +35 | +15 至 +35 |
(°F) | (+59 至 +95) | (+59 至 +95) | (+59 至 +95) | (+59 至 +95) | |
噪聲 | |||||
對(duì)流冷卻 | db(A) | < 44 | < 44 | < 44 | < 44 |
帶徑向冷卻風(fēng)扇 | db(A) | < 47 | < 47 | < 47 | < 47 |
帶軸向冷卻風(fēng)扇 | db(A) | < 49 | < 49 | < 49 | < 49 |
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TURBOVAC | 350 i | T 350 i | 450 i | T 450 i |
RS 485, USB+, 15-針 I/O 接口 | ||||
高真空法蘭 | 100 ISO-K | 100 ISO-K | 160 ISO-K | 160 ISO-K |
產(chǎn)品號(hào) | 830051V1000 | 830050V1000 | 830071V1000 | 830070V1000 |
高真空法蘭 | 100 CF | 100 CF | 160 CF | 160 CF |
產(chǎn)品號(hào) | 830061V1000 | 830060V1000 | 830081V1000 | 830080V1000 |
可選接口(RS 232, Profibus), USB+, 15-針 I/O 接口 : 根據(jù)需求選擇 | ||||
TURBOVAC | 350 iX | T 350 iX | 450 iX | T 450 iX |
USB+, 15-針 I/O 接口 | ||||
高真空法蘭 | 100 ISO-K | 100 ISO-K | 160 ISO-K | 160 ISO-K |
產(chǎn)品號(hào) | 830051V3000 | 830050V3000 | 830071V3000 | 830070V3000 |
高真空法蘭 | 100 CF | 100 CF | 160 CF | 160 CF |
產(chǎn)品號(hào) | 830061V3000 | 830060V3000 | 830081V3000 | 830080V3000 |
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