1.加熱系統(tǒng)
| 溫度 | 1200℃ |
| 使用溫度 | ≤1100℃ |
| 爐管尺寸 | Φ150mm（爐管直徑可根據(jù)實(shí)際需要定制。） |
| 爐膛材料 | 氧化鋁、高溫纖維制品 |
| 熱電偶類型 | K型熱電偶 |
| 控溫精度 | ±1℃ |
| 控溫方式 | 30段可編程控溫，PID參數(shù)自整定，操作界面為7”工控電腦，內(nèi)置PLC控制程序。 |
| 加熱長(zhǎng)度 | 200+200+200mm |
| 加熱原件 | 電阻絲 |
| 供電電源 | 單相，220V，50Hz |
2、PE系統(tǒng)
| 功率輸出范圍 | 0W~1000W |
| 反射功率 | 200W |
| 射頻輸出接口 | 50 Ω, N-type, female |
| 功率穩(wěn)定度 | ≤5W |
| 諧波分量 | ≤-50dbc |
| 供電電壓 | 單相交流（187V-253V） 頻率50/60HZ |
| 整機(jī)效率 | >=70% |
| 功率因素 | >=90% |
| 冷卻方式 | 強(qiáng)制風(fēng)冷 |
| 連接頭類型 | 雙卡套不銹鋼接頭 |
| 標(biāo)準(zhǔn)量程（N2) | 200sccm，500sccm、1000sccm（可根據(jù)用戶要求定制） |
| 準(zhǔn)確度 | ±1.5%F.S |
| 線性 | ±1%F.S |
| 重復(fù)精度 | ±0.2%F.S |
| 響應(yīng)時(shí)間 | 氣特性：1～4 Sec，電特性：10 Sec |
| 工作壓差范圍 | 0.1～0.5 MPa |
| 壓力 | 3MPa |
| 接口 | Φ6,1/4'' |
| 顯示 | 4位數(shù)字顯示 |
| 工作環(huán)境溫度 | 5~45高純氣體 |
| 壓力真空表 | －0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格 |
| 截止閥 | Φ6 |
| 內(nèi)外雙拋不銹鋼管 | Φ6 |
4、低真空機(jī)組
| 空氣相對(duì)濕度 | ≤85% |
| 工作環(huán)境 | 5℃～40℃ |
| 工作電電壓 | 380V |
| 抽氣速率 | 32m³/h |
| 極限真空 | 5X10-1Pa（空載冷態(tài)） |
| 工作壓力范圍 | 1.01325X105～1.33X10-2Pa |
| 進(jìn)氣口口徑 | KF40 |
| 排氣口口徑 | KF40 |
| 連接方式 | 采用波紋管，手動(dòng)擋板閥與波紋管相連 |
