高分辨率膜厚測控儀的原理是:石英晶振片的振動頻率隨其表面所沉積膜的質(zhì)量不同而變化。根據(jù)這一特性,可以通過測量石英晶振片的振動頻率變化,以計(jì)算出沉積膜的質(zhì)量多少。再通過已知的膜密度和面積,而最終精確計(jì)算出所沉積膜的厚度。
性能參數(shù):
膜厚范圍: | 0.0 - 999.9nm |
分 辨 率: | 0.1nm |
密度范圍: | 0.50 - |
修正因子: | 0.25 - 8.0 |
存儲功能: | 可存儲4組密度和修正因子數(shù)據(jù) |