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OPTM 系列 顯微分光膜厚儀

參考價
面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 型號OPTM系列
  • 品牌
  • 所在地北京市
  • 更新時間2023-05-09
  • 廠商性質生產(chǎn)廠家
  • 所在地區(qū)北京市
  • 實名認證已認證
  • 產(chǎn)品數(shù)量138
  • 人氣值3510
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       北京卓立漢光儀器有限公司是一家集光學、精密機械、電子、計算機技術于一體的高科技企業(yè)。卓立漢光自1999年起,通過十年的不斷努力,成長為光電儀器廠商。目前公司的電控位移臺、手動位移臺、光學調整架等產(chǎn)品已經(jīng)形成產(chǎn)品系列化,規(guī)格多元化,國內多家科研單位、激光加工設備廠商、光纖設備廠商在使用我們的產(chǎn)品。2000年推出國內*套量產(chǎn)型三光柵光譜儀后,不斷推出了多套熒光、拉曼、光電探測器光譜響應、太陽能電池檢測等光譜測量系統(tǒng),廣泛應用在眾多高校和科研院所的研究與試驗,為國家科技創(chuàng)新貢獻了一份力量,產(chǎn)品憑借優(yōu)良的品質遠銷歐美、東南亞等海外市場。 2005年10月在同行業(yè)中*通過ISO9001質量管理體系SGS認證。
         卓立漢光主要生產(chǎn)經(jīng)營:光譜儀、光譜測量系統(tǒng)、光量測儀器、電控精密位移臺、手動精密位移臺、光學調整架、光學平臺、光學元件等系列產(chǎn)品。
         我們誠心聆聽用戶的需要與批評,作為不斷改進的動力,能讓您滿意卓立漢光的產(chǎn)品及服務,就是我們較大的成就。因此我們以卓立漢光的光機產(chǎn)品提供 “終身保固” 的承諾,來表達我們對產(chǎn)品的信心。我們堅持從設計、零件選型、制造、裝配、檢驗、包裝、運輸、直到售后服務做好*質量保證,就是要讓您 “付有所值”,以合理的價位得到優(yōu)質的產(chǎn)品,這是我們對您選擇卓立漢光真誠的回報。
        卓立漢光始終以滿足用戶需求為宗旨,分別于上海、 成都、 深圳設立分公司,為用戶提供及時周到的銷售與技術服務。“研發(fā)創(chuàng)新、快速反應、優(yōu)質服務” 是我們的經(jīng)營理念, 公司*重視優(yōu)質高效、Z短時間為客戶開發(fā)產(chǎn)品及提供技術支持。卓立漢光真誠的希望與國內外同仁攜手合作,為推動我國光電產(chǎn)業(yè)迅猛發(fā)展做出貢獻。

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OPTM 系列顯微分光膜厚儀使用顯微光譜法在微小區(qū)域內通過反射率進行測量,可進行高精度膜厚度/光學常數(shù)分析??赏ㄟ^非破壞性和非接觸方式測量涂膜的厚度,例如各種膜、晶片、光學材料和多層膜。 測量時間上,能達到1秒/點的高速測量,并且搭載了即使是初次使用的用戶,也可容易出分析光學常數(shù)的軟件。
顯微分光膜厚儀 產(chǎn)品詳情
產(chǎn)品概述

OPTM 系列顯微分光膜厚儀
頭部集成了薄膜厚度測量所需功能
通過顯微光譜法測量高精度反射率(多層膜厚度,光學常數(shù))
1點1秒高速測量
顯微分光下廣范圍的光學系統(tǒng)(紫外至近紅外)
區(qū)域傳感器的安全機制
易于分析向導,初學者也能夠進行光學常數(shù)分析
獨立測量頭對應各種inline客制化需求
支持各種自定義
 
OPTM 系列顯微分光膜厚儀選型表
 
OPTM-A1 OPTM-A2 OPTM-A3
波長范圍 230 ~ 800 nm 360 ~ 1100 nm 900 ~ 1600 nm
膜厚范圍 1nm ~ 35μm 7nm ~ 49μm 16nm ~ 92μm
測定時間 1秒 / 1點
光斑大小 10μm (*小約5μm)
感光元件 CCD InGaAs
光源規(guī)格 氘燈+鹵素燈   鹵素燈
電源規(guī)格 AC100V±10V 750VA(自動樣品臺規(guī)格)
尺寸 555(W) × 537(D) × 568(H) mm (自動樣品臺規(guī)格之主體部分)
重量 約 55kg(自動樣品臺規(guī)格之主體部分)
 

測量項目:

反射率測量
多層膜解析
光學常數(shù)分析(n:折射率,k:消光系數(shù))

 

測量示例:SiO 2 SiN [FE-0002]的膜厚測量

半導體晶體管通過控制電流的導通狀態(tài)來發(fā)送信號,但是為了防止電流泄漏和另一個晶體管的電流流過任意路徑,有必要隔離晶體管,埋入絕緣膜。 SiO 2(二氧化硅)或SiN(氮化硅)可用于絕緣膜。 SiO 2用作絕緣膜,而SiN用作具有比SiO 2更高的介電常數(shù)的絕緣膜,或是作為通過CMP去除SiO 2的不必要的阻擋層。之后SiN也被去除。 為了絕緣膜的性能和精確的工藝控制,有必要測量這些膜厚度。

 
關鍵詞:傳感器
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