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儀表網(wǎng)>產(chǎn)品庫(kù)>專用儀表>其它行業(yè)>原子層沉積系統(tǒng)>1200℃等離子增強(qiáng)小型PECVD回轉(zhuǎn)爐系統(tǒng)

OTF-1200X-S-Ⅱ-R-4CV-PE 1200℃等離子增強(qiáng)小型PECVD回轉(zhuǎn)爐系統(tǒng)

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  • 型號(hào)OTF-1200X-S-Ⅱ-R-4CV
  • 品牌
  • 所在地上海市
  • 更新時(shí)間2023-05-01
  • 廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
  • 所在地區(qū)上海市
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量437
  • 人氣值1012
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OTF-1200X-S-II-R-4CV-PE是一款1200℃等離子增強(qiáng)雙溫區(qū)回轉(zhuǎn)爐系統(tǒng)。此系統(tǒng)由射頻電源、雙溫區(qū)管式爐、4通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)、性能優(yōu)異的真空泵及水冷機(jī)組成。此套完整的設(shè)備系統(tǒng)特別適合用于無機(jī)復(fù)合粉末的熱處理以及粉未表面的改性處理工藝中(如:粉體摻雜(空穴、間隙原子)、表面改性、表面包覆及制備鋰離子電池陰極粉末的導(dǎo)電涂層等)。
1200℃等離子增強(qiáng)小型PECVD回轉(zhuǎn)爐系統(tǒng) 產(chǎn)品詳情

產(chǎn)品特點(diǎn):

射頻電源可實(shí)現(xiàn)等離子增強(qiáng)從而顯著降低實(shí)驗(yàn)溫度;

齒輪驅(qū)動(dòng)管式爐旋轉(zhuǎn)可有效地提高復(fù)合粉末熱處理的均勻性;

• 4通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)可以對(duì)氣體的輸送進(jìn)行精確的調(diào)控;

爐體開啟式設(shè)計(jì),以達(dá)到對(duì)樣品快速降溫,方便更換爐管。

工作電源:

輸入電壓:AC208-220V, 50/60Hz

總功率:<4KW

加熱爐參數(shù):

溫度:1100℃<30min);連續(xù)工作溫度:1000℃;

兩個(gè)PID溫度控制器及30段可編程溫控系統(tǒng),控溫精度:±1℃;

工作電壓:110V

額定功率:1.5KW;

回轉(zhuǎn)爐旋轉(zhuǎn)速度:0-5 rpm

射頻電源:

image.png 

真空系統(tǒng):

•·采用TRP-12的雙旋真空泵;

• KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵;

真空度可達(dá)10-2Torr。

供氣系統(tǒng)(可選):

客戶可選購(gòu)四通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)氣體流量的精確控制(精確度:±0.02%;

流量范圍:

image.png 

電壓:208-240V, AC50/60Hz;

氣體進(jìn)出口配件:6mm OD的聚四氟管或不銹鋼管;

不銹鋼針閥用于手動(dòng)控制氣體進(jìn)出;

• PLC觸摸屏可以簡(jiǎn)便地進(jìn)行氣體流量設(shè)置。

循環(huán)水冷機(jī):

標(biāo)配KJ-5000循環(huán)水冷機(jī),水流速率:16L/min

產(chǎn)品尺寸和重量:

尺寸:1400mmL -600mmW-1240mmH

凈重:90Kg

承諾:

一年保質(zhì)期,終身維護(hù),不包括爐管,硅膠密封圈和加熱元件


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